发明公开
CN101122456A 横向剪切干涉仪的胶合检测方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 横向剪切干涉仪的胶合检测方法
- 专利标题(英): Transverse shearing interferometer agglutination checking method
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申请号: CN200710018571.8申请日: 2007-09-03
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公开(公告)号: CN101122456A公开(公告)日: 2008-02-13
- 发明人: 赵葆常 , 杨建峰 , 薛彬 , 乔卫东 , 陈立武 , 贺应红 , 常凌颖 , 张健
- 申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 申请人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园区信息大道17号
- 专利权人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园区信息大道17号
- 代理机构: 西安智邦专利商标代理有限公司
- 代理商 徐平
- 主分类号: G01B9/02
- IPC分类号: G01B9/02 ; G02B7/18
摘要:
一种横向剪切干涉仪的胶合检测方法,在待胶合横向剪切干涉仪上均匀地涂覆光敏胶,竖直放于精密调整平台的高精度光学平板上。由激光器输出的激光经散射板及平行光管形成均匀平行光,照在待胶合横向剪切干涉仪上。用数码相机接收待胶合横向剪切干涉仪出射端形成的干涉条纹,在计算机上实时显示。计算N0个干涉条纹占数码相机的CCD像元数M0,微移两棱镜,读取N0个干涉条纹占数码相机的CCD像元数M,到CCD像元数M为M0时止,使两棱镜定位。固化被胶合的两棱镜。本发明解决了背景技术中横向剪切干涉仪的横向剪切量难以准确控制的技术问题。本发明横向剪切量误差可控制在1%以内。
公开/授权文献
- CN100455985C 横向剪切干涉仪的胶合检测方法 公开/授权日:2009-01-28