发明授权
- 专利标题: 一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法
- 专利标题(英): A method for sinking non crystal ZnS film under room temperature condition
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申请号: CN200710045967.1申请日: 2007-09-14
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公开(公告)号: CN101127308B公开(公告)日: 2011-10-05
- 发明人: 高相东 , 李效民 , 于伟东
- 申请人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 申请人地址: 上海市定西路1295号
- 专利权人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海硅酸盐研究所苏州研究院
- 当前专利权人地址: 上海市定西路1295号
- 主分类号: H01L21/368
- IPC分类号: H01L21/368
摘要:
本发明涉及一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法,其特点是将超声辐照技术与连续离子层吸附与反应方法相结合,薄膜沉积过程由若干个循环组成,每个循环包含四步:(1)阳离子前驱体溶液的吸附;(2)衬底超声辐照;(3)阴离子前驱体溶液的反应与吸附;(4)衬底超声辐照。阳离子前驱体采用金属锌的无机盐或有机醋酸盐与络合剂配制而成,络合剂可选择乙二胺或氨水等;阴离子前驱体采用无机硫化物如硫化钠;衬底为普通玻璃、石英玻璃、ITO导电玻璃、单晶硅、蓝宝石或其他材料。本发明的特点是:所得ZnS膜层致密的ZnS纳米粒子构成,粒子尺寸小至10-30nm;制作方法简单,成本低廉,无须加热或使用昂贵的真空设备,适合于规模化生产。
公开/授权文献
- CN101127308A 一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法 公开/授权日:2008-02-20
IPC分类: