一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法
摘要:
本发明涉及一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法,其特点是将超声辐照技术与连续离子层吸附与反应方法相结合,薄膜沉积过程由若干个循环组成,每个循环包含四步:(1)阳离子前驱体溶液的吸附;(2)衬底超声辐照;(3)阴离子前驱体溶液的反应与吸附;(4)衬底超声辐照。阳离子前驱体采用金属锌的无机盐或有机醋酸盐与络合剂配制而成,络合剂可选择乙二胺或氨水等;阴离子前驱体采用无机硫化物如硫化钠;衬底为普通玻璃、石英玻璃、ITO导电玻璃、单晶硅、蓝宝石或其他材料。本发明的特点是:所得ZnS膜层致密的ZnS纳米粒子构成,粒子尺寸小至10-30nm;制作方法简单,成本低廉,无须加热或使用昂贵的真空设备,适合于规模化生产。
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