测试装置、测试方法、电子元件的生产方法、测试模拟器以及测试模拟方法
摘要:
一种测试装置,利用测试由电子元件输出的多个输出讯号,各个发生变化的时序的相关性,而能以更高的精度来识别电子元件的良否。此测试装置将测试信号供给至电子元件,并将该电子元件输出的多个输出讯号来与期待值比较以测试电子元件。此测试装置包括:基准时序检测部,检测出一个输出讯号发生变化的现象;设定部,预先设定:由一个输出讯号发生变化到另一个输出讯号发生变化为止的最小时间;取入部,由检测出一个输出讯号发生变化时起,在已经过该最小时间的时序,取得另一个输出讯号之的值;以及识别部,取入部取得的该另一个输出讯号的值,与经过最小时间后的另一个输出讯号所应该取得的值不一致时,识别该电子元件为不良品。
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