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发明公开
CN101138799A 新型微纳电火花与隧道电流复合加工装置 无效 - 撤回

  • 专利标题： 新型微纳电火花与隧道电流复合加工装置
  • 专利标题（英）： Novel micro nanometer electric spark and tunneling current composite processing device
  • 申请号： CN200610068851.5
    申请日： 2006-09-08
  • 公开(公告)号： CN101138799A
    公开(公告)日： 2008-03-12
  • 发明人: 李文卓 , 陈义保 , 柴永生 , 于云霞
  • 申请人： 烟台大学
  • 申请人地址： 山东省烟台市莱山区清泉路32号
  • 专利权人： 烟台大学
  • 当前专利权人： 烟台大学
  • 当前专利权人地址： 山东省烟台市莱山区清泉路32号
  • 主分类号： B23H5/00
  • IPC分类号： B23H5/00 ;  B23H7/14 ;  B23H7/26 ;  B23Q1/25 ;  B81C5/00 ;  B82B3/00
新型微纳电火花与隧道电流复合加工装置
摘要：
一种采用微纳电火花加工与隧道电流扫描复合加工装置，该装置的工作顺序是计算机23首先控制电源切换器8选择微纳电火花加工电源1，对工件13进行从毫米尺度到纳米尺度的加工，然后通过电源切换器8选择扫描隧道电流加工电源2对工件13进行纳米尺度至亚纳米尺度的加工。整个加工过程由显微镜系统9进行观测，并通过CCD成像系统10实时显示在计算机23屏幕上。加工过程中工件13的位置控制信息由计算机13控制工件运动伺服及位置反馈系统传24递给工件粗调工作台15及精调工作台14实现，加工过程中探针12的位置控制由计算机23通过D/A连接器6、压电陶瓷控制电路6、电极位置微调控制器7与电极三向微调机构11实现。
摘要（英）：

Operation procedures of a compound processing device of micro-nano electric spark machine and tunneling current scanning are: a computer 23 controls a power switch 8 to choose the micro-nano electric spark machine power supply 1 and processes of nano to hypo-nano for a workpiece 13 is performed, and then a switcher of power supply 8 chooses processing power supply 2 for the tunneling current scanning to make process of nano to hypo-nano performed for the workpiece 13. The whole processing is observed by a microscope system 9 and timely displayed on a screen of the computer 23 by CCD imaging system 10. During processing, position control data of the workpiece 13 is transferred to a coarse adjustment station of workpiece15 and a precise adjustment station of workpiece 14 by a motion servo of workpiece control of the computer 13 and a position feedback system 24. And position control for a probe 12 in the processing is performed by the computer 23 via D/A connector 6, a control circuit of piezoelectric ceramics 6, a fine adjustment controller for electrode position 7 and a fine adjustment mechanism of tri-electrode 11.

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