细胞电生理集成芯片和制作方法
摘要:
本发明公开了一种细胞电生理集成芯片和制作方法。在Si基底正面中间集成MEA微电极阵列,在MEA微电极阵列两侧分别集成IDA叉指电极和LAPS光寻址电位传感器,在MEA微电极阵列另外两侧分别对称设置参考电极。本集成芯片能同时检测细胞在器件上的贴壁生长状态,动作电位及细胞新陈代谢产物中多种离子的浓度,用于实现多参数的同时并行检测,解决了集成细胞传感器芯片设计、加工的核心技术难题,为集成化细胞传感器技术的便携化及仪器化发展拓展了新的应用领域。
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