Invention Publication
- Patent Title: 高压晶体管和存储器的形成方法
- Patent Title (English): Forming method of high voltage transistor and memory device
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Application No.: CN200710126599.3Application Date: 2007-06-22
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Publication No.: CN101197263APublication Date: 2008-06-11
- Inventor: 王友臻 , 洪中山 , 宋建鹏 , 金贤在
- Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Agency: 北京集佳知识产权代理有限公司
- Agent 逯长明
- Main IPC: H01L21/28
- IPC: H01L21/28 ; H01L21/336 ; H01L21/8247

Abstract:
一种栅极形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底形成有第一氧化硅层、第一多晶硅层和层间介质层;在所述半导体衬底上形成第二多晶硅层;去除第二多晶硅层;形成栅极。相应地,本发明还提供一种高压晶体管的形成方法和一种存储器的形成方法,本发明通过先去除形成在半导体衬底上第一多晶硅层和层间介质层上的第二多晶硅层,然后定义刻蚀第一多晶硅层和层间介质层形成栅极,避免了去除第二多晶硅层不干净的造成残留问题,防止了由于第二多晶硅残留问题使得高压晶体管产生泄漏电流。
Public/Granted literature
- CN101197263B 高压晶体管和存储器的形成方法 Public/Granted day:2010-06-09
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IPC分类: