高压晶体管和存储器的形成方法
Abstract:
一种栅极形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底形成有第一氧化硅层、第一多晶硅层和层间介质层;在所述半导体衬底上形成第二多晶硅层;去除第二多晶硅层;形成栅极。相应地,本发明还提供一种高压晶体管的形成方法和一种存储器的形成方法,本发明通过先去除形成在半导体衬底上第一多晶硅层和层间介质层上的第二多晶硅层,然后定义刻蚀第一多晶硅层和层间介质层形成栅极,避免了去除第二多晶硅层不干净的造成残留问题,防止了由于第二多晶硅残留问题使得高压晶体管产生泄漏电流。
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