发明授权
CN101206170B 一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法及实现装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法及实现装置
- 专利标题(英): Sample nondestructive approach method and implementation device facing to nano collimation and operation
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申请号: CN200610134977.8申请日: 2006-12-22
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公开(公告)号: CN101206170B公开(公告)日: 2011-02-02
- 发明人: 缪磊 , 周磊 , 董再励 , 刘柱 , 王越超
- 申请人: 中国科学院沈阳自动化研究所
- 申请人地址: 辽宁省沈阳市东陵区南塔街114号
- 专利权人: 中国科学院沈阳自动化研究所
- 当前专利权人: 中国科学院沈阳自动化研究所
- 当前专利权人地址: 辽宁省沈阳市东陵区南塔街114号
- 代理机构: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
- 代理商 许宗富; 周秀梅
- 主分类号: G01N13/16
- IPC分类号: G01N13/16 ; G05D3/12
摘要:
本发明公开一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法。它通过控制样品相对于探针进行微米级的初调运动及纳米级的精密运动,经检测反射激光光斑的位置变化信号的反馈控制步骤,通过检测样品逼近探针产生原子力作用时产生的光电检测信息进行反馈控制,达到控制样品无损逼近探针的目的。采用本发明可以避免碰撞逼近所造成的探针或样品损伤。
公开/授权文献
- CN101206170A 一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法及实现装置 公开/授权日:2008-06-25