发明公开
CN101213646A 薄片粘贴装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 薄片粘贴装置
- 专利标题（英）： Sheet adhering apparatus
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申请号： CN200680024322.3申请日： 2006-06-26
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公开(公告)号： CN101213646A公开(公告)日： 2008-07-02
- 发明人: 野中英明 , 小林贤治
- 申请人： 琳得科株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 琳得科株式会社
- 当前专利权人： 琳得科株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司
- 代理商 丁国芳
- 优先权： 198807/2005 2005.07.07 JP
- 国际申请： PCT/JP2006/312686 2006.06.26
- 国际公布： WO2007/007532 JA 2007.01.18
- 进入国家日期： 2008-01-03
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
摘要：
一种薄片粘贴装置，它包括：含有从剥离片(PS)将粘接片(S)剥离的剥离板(22)的薄片导引单元(12)；和将上述粘接片(S)按压粘贴到被支承在工作台(13)上的晶片(W)上的压辊(14)。上述剥离板(22)通过气缸(50)可以进退地被支撑着。该剥离板(22)根据晶片(W)的大小或者支承它的工作台的大小，可以进行前端初始位置的前后调整。
公开/授权文献
- CN100550337C 薄片粘贴装置 公开/授权日：2009-10-14