发明公开
CN101214917A 使用牺牲材料制造微器件
无效 - 撤回
- 专利标题： 使用牺牲材料制造微器件
- 专利标题（英）： Fabricating micro devices using sacrificial materials
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申请号： CN200710167609.8申请日： 2007-04-18
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公开(公告)号： CN101214917A公开(公告)日： 2008-07-09
- 发明人: 潘晓和
- 申请人： 视频有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚
- 专利权人： 视频有限公司
- 当前专利权人： 视频有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 陈炜
- 优先权： 11/407,014 2006.04.18 US
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00
摘要：
一种制造可倾斜微镜面的方法，包括：形成包含上表面和与上表面相连的铰链支柱的基板；在该基板上沉积选自由聚芳撑、聚芳醚和硅倍半氧烷化氢构成的组中的第一牺牲材料；在第一牺牲材料上沉积一层或多层结构材料；在一层或多层结构材料中形成开口，其中该开口能够提供从外界到在一层或多层结构材料下面的第一牺牲材料的通道；和除去第一牺牲材料，以形成与铰链支柱相连的可倾斜微镜面。
