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    对于微型装置的抗粘连材料的原位应用
    2.
    发明授权
    对于微型装置的抗粘连材料的原位应用 有权

    公开(公告)号：CN101117207B

    公开(公告)日：2012-02-22

    申请号：CN200710138850.8

    申请日：2007-06-28

    申请人： 视频有限公司

    发明人： 潘晓和

    IPC分类号： G02B26/08 ,  B81C1/00 ,  B81C5/00 ,  B81B5/00

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  B81B3/0005 ,  B81C1/0096 ,  B81C2201/112

    摘要： 用于应用抗粘连材料到在基板上的微型装置的方法，包括在封装装置的表面或基板的表面引入抗粘连材料并且密封至少部分封装装置到基板的表面以形成用于封装微型装置和抗粘连材料的室。该微型装置包括第一元件和第二元件。该方法还包括汽化抗粘连材料以及汽化抗粘连材料后，在第一元件的表面或第二元件的表面沉积抗粘连材料以阻止第一元件和第二元件间的粘连。

    使用牺牲材料制造微器件
    4.
    发明公开
    使用牺牲材料制造微器件 无效

    公开(公告)号：CN101214917A

    公开(公告)日：2008-07-09

    申请号：CN200710167609.8

    申请日：2007-04-18

    申请人： 视频有限公司

    发明人： 潘晓和

    IPC分类号： B81C1/00

    CPC分类号： G02B26/0841

    摘要： 一种制造可倾斜微镜面的方法，包括：形成包含上表面和与上表面相连的铰链支柱的基板；在该基板上沉积选自由聚芳撑、聚芳醚和硅倍半氧烷化氢构成的组中的第一牺牲材料；在第一牺牲材料上沉积一层或多层结构材料；在一层或多层结构材料中形成开口，其中该开口能够提供从外界到在一层或多层结构材料下面的第一牺牲材料的通道；和除去第一牺牲材料，以形成与铰链支柱相连的可倾斜微镜面。

    具有铰链的微镜
    7.
    发明公开
    具有铰链的微镜 无效

    公开(公告)号：CN101299093A

    公开(公告)日：2008-11-05

    申请号：CN200710186176.0

    申请日：2007-10-26

    申请人： 视频有限公司

    发明人： 潘晓和 ,  V·诺沃特尼 ,  高俊德 ,  李启光

    IPC分类号： G02B26/08

    CPC分类号： G02B26/0841

    摘要： 一种微镜装置，包括由衬底支撑的铰链和可绕该铰链倾斜的镜板。该铰链包括选自由具有钛成分在大约30％和70％之间的钛－镍合金、钛成分在大约30％和70％之间的钛－铝合金、铜成分在大约5％和20％之间的铝－铜合金、以及氮成分在大约0和15％之间的铝钛氮化物组成的组中的一种合金。

    具有改进性能的封装空间光调制器
    8.
    发明公开
    具有改进性能的封装空间光调制器 无效

    公开(公告)号：CN101281296A

    公开(公告)日：2008-10-08

    申请号：CN200810083092.9

    申请日：2008-03-21

    申请人： 视频有限公司

    发明人： 潘晓和

    IPC分类号： G02B26/08

    CPC分类号： G02B26/0833

    摘要： 本发明描述用于形成具有高对比度的空间光调制器的器件和方法。在容纳空间光调制器的腔内使用光吸收材料。该光吸收材料吸收不打算用于形成一部分显示图像的光。该光吸收材料可以形成窗孔层，其中形成显示图像的光透射穿过窗孔层内的开口。空间光调制器阵列可以位于外壳内，还可以形成虚设的空间光调制器，使该阵列与窗孔层内的开口能容易地对准。

    低压微机械器件
    9.
    发明公开
    低压微机械器件 无效

    公开(公告)号：CN101201453A

    公开(公告)日：2008-06-18

    申请号：CN200710169268.8

    申请日：2007-11-08

    申请人： 视频有限公司

    发明人： 潘晓和 ,  托尔·诺塔

    IPC分类号： G02B26/08 ,  H02N1/00

    CPC分类号： G09G3/346 ,  G02B26/0841

    摘要： 驱动装置中多个MEMS器件的方法。将电压脉冲施加到MENS器件的电极或结构部分。电极位于结构部分下方的基片上。多个MEMS器件的至少两个MEMS器件具有不同的阈电压，阈电压是移动结构部分所需的最低电压。偏压被施加到MEMS器件的电极或结构部分的无论哪一个，不会使电压脉冲施加到其上。偏压和电压脉冲能够移动具有不同阈电压的较高阈电压的MEMS器件结构部分。