用于产生一级标准气体混合物的系统
摘要:
本发明提供了一种用于产生一级标准气体混合物的新系统和设备(200)。该系统包括在温度受控的外壳(220)中提供具有恒定扩散速率的气体渗透装置(210);将组分供应源(230)连接至所述渗透装置(210);将所述组分从所述气体渗透装置(210)引导至产物容器(290),直至在所述产物容器(290)中达到所需量的所述组分;以及将平衡量的纯净气体供应给所述产物容器(290),以获得所述一级标准气体混合物中组分的已知浓度。
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