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公开(公告)号：CN101218014A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200680020896.3
申请日：2006-05-11
申请人： 普莱克斯技术有限公司
发明人： M·L·马尔切夫斯基 , D·C·海德曼
CPC分类号： G05D11/132 , B01F3/022 , B01F3/026 , F17C2265/025 , G01N33/0006 , Y10T137/86389 , Y10T436/10 , Y10T436/100833
摘要： 本发明提供了一种用于产生一级标准气体混合物的新系统和设备(200)。该系统包括在温度受控的外壳(220)中提供具有恒定扩散速率的气体渗透装置(210)；将组分供应源(230)连接至所述渗透装置(210)；将所述组分从所述气体渗透装置(210)引导至产物容器(290)，直至在所述产物容器(290)中达到所需量的所述组分；以及将平衡量的纯净气体供应给所述产物容器(290)，以获得所述一级标准气体混合物中组分的已知浓度。
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公开(公告)号：CN101218014B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200680020896.3
申请日：2006-05-11
申请人： 普莱克斯技术有限公司
发明人： M·L·马尔切夫斯基 , D·C·海德曼
CPC分类号： G05D11/132 , B01F3/022 , B01F3/026 , F17C2265/025 , G01N33/0006 , Y10T137/86389 , Y10T436/10 , Y10T436/100833
摘要： 本发明提供了一种用于产生一级标准气体混合物的新系统和设备(200)。该系统包括在温度受控的外壳(220)中提供具有恒定扩散速率的气体渗透装置(210)；将组分供应源(230)连接至所述渗透装置(210)；将所述组分从所述气体渗透装置(210)引导至产物容器(290)，直至在所述产物容器(290)中达到所需量的所述组分；以及将平衡量的纯净气体供应给所述产物容器(290)，以获得所述一级标准气体混合物中组分的已知浓度。
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公开(公告)号：CN1643376A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN03806755.2
申请日：2003-01-22
申请人： 普莱克斯技术有限公司
发明人： M·C·约翰逊 , C·J·黑姆 , J·F·比林哈姆 , M·L·马尔切夫斯基
IPC分类号： G01N33/00
CPC分类号： G01N15/06 , B01D15/40 , C01B32/50 , F25J2290/50 , G01N1/2202 , G01N1/40 , G01N1/42 , G01N15/04 , G01N33/0016 , G01N2001/2238 , G01N2001/2282 , G01N2015/0693
摘要： 本发明涉及用于检测在应用二氧化碳过程中可以析出并且沉积到工件上的污染物，特别是已经存在并且溶于供应到应用中的新鲜二氧化碳中的污染物的方法和系统。本发明一个方面包括一种检测溶于二氧化碳流中污染物的方法，包括以下步骤：抽取至少一部分二氧化碳流以形成二氧化碳样品；改变该二氧化碳样品的至少一个物理条件以形成包含气态二氧化碳和至少一种悬浮污染物的气溶胶；并且用至少一个颗粒计数器检测至少一部分该二氧化碳样品中悬浮污染物颗粒的数目。还描述了一种用于连续检测溶于二氧化碳流中的污染物的系统。
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