一种Zr掺杂CeO2过渡层薄膜及其制备方法
摘要:
一种Zr掺杂CeO2过渡层薄膜及其制备方法,属于高温涂层超导材料制备技术领域。本发明所提供的Ce1-xZrxO2(0.1≤x≤0.5)薄膜通过以下方法获得:首先,将有机Ce盐和有机Zr盐按照阳离子摩尔比1-x∶x,其中0.1≤x≤0.5,溶解到正丙酸和甲醇或乙酰丙酮的溶液中得到前驱溶液;然后将前驱液用旋涂或者浸涂的方法沉积到NiW合金基带或单晶基板上,在通有保护气的条件下,于950~1200℃烧结15~120分钟,获得Ce1-xZrxO2薄膜。本发明的厚度可以达到30~250nm,膜表面致密平整,没有微观裂纹和孔洞,具有较高的织构,制备工艺简单,成本低廉。
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