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平板式三维定位/扫描装置
摘要:
本发明涉及一种基于压电陶瓷管的平板式三维定位/扫描装置,其结构组成主要包括:1个矩形固定架、8个压电陶瓷管、16个绝缘片、8个弹性片、四个固定座以及1个样品台。每个压电陶瓷管的两端都粘接一个绝缘片,一端的绝缘片连同压电陶瓷管固定在矩形固定架的一个固定座上,另外一端的绝缘片粘接弹性片一端,位于中心位置的样品台固定到8个弹性片的另一端,形成柔性支撑结构。将8个压电陶瓷管外壁(或内壁)的4个电极按特定方式组合连接成三对电极,而其内壁(或外壁)的电极接地;三对电极分别与三对驱动电压连接,可实现三维定位和扫描,并具有微米量级的扫描范围和纳米级分辨率。
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