发明授权
CN101221116B 平板式三维定位/扫描装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 平板式三维定位/扫描装置
- 专利标题(英): Plate type three-dimensional locating/scanning device
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申请号: CN200710304237.9申请日: 2007-12-26
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公开(公告)号: CN101221116B公开(公告)日: 2010-08-11
- 发明人: 商广义 , 蔡微 , 徐平 , 姚骏恩
- 申请人: 北京航空航天大学
- 申请人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 代理机构: 北京永创新实专利事务所
- 代理商 周长琪
- 主分类号: G01N13/10
- IPC分类号: G01N13/10
摘要:
本发明涉及一种基于压电陶瓷管的平板式三维定位/扫描装置,其结构组成主要包括:1个矩形固定架、8个压电陶瓷管、16个绝缘片、8个弹性片、四个固定座以及1个样品台。每个压电陶瓷管的两端都粘接一个绝缘片,一端的绝缘片连同压电陶瓷管固定在矩形固定架的一个固定座上,另外一端的绝缘片粘接弹性片一端,位于中心位置的样品台固定到8个弹性片的另一端,形成柔性支撑结构。将8个压电陶瓷管外壁(或内壁)的4个电极按特定方式组合连接成三对电极,而其内壁(或外壁)的电极接地;三对电极分别与三对驱动电压连接,可实现三维定位和扫描,并具有微米量级的扫描范围和纳米级分辨率。
公开/授权文献
- CN101221116A 平板式三维定位/扫描装置 公开/授权日:2008-07-16