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公开(公告)号：CN102184828B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201110077557.1
申请日：2011-03-29
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开一种电子显微镜的第二聚光镜，属电子显微镜领域。包括：外壳为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板盖住外壳的下端开口，磁环外面套装磁路线圈，两者均设置在外壳内，磁路线圈下面设有水套隔圈组件，水套隔圈组件下面为下盖板，下盖板、磁环、水套隔圈组件的中间部位均设有通孔，三者通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件；垫圈、极靴组件内均设有通孔，两者通孔相互连通，连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和消象散组件。该第二聚光镜可将第一聚光镜缩小的电子枪交叉点的束斑进行适当放大，从而改变电子束斑的大小，实现针对不同样品可提供不同的束斑大小，提高电子显微镜的性能。
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公开(公告)号：CN102509689A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110349943.1
申请日：2011-11-08
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H01J37/153
摘要： 本发明提出一种电子显微镜的物镜消像散器，是用于增强物镜线圈磁感应强度的装置。所述装置主要包括电磁消像散器组件、保护套、屏蔽磁套、隔圈组件、接线螺圈、螺套、螺圈和固定光栏，电磁消像散器组件又包括线圈支架和线圈框，线圈框上缠绕有消像散线圈，接线螺圈螺纹套接在线圈支架上，保护套螺纹套接在线圈框外，固定光栏通过保护套伸入线圈支架的中心通孔，屏蔽磁套与隔圈组件固定一起，隔圈组件通过螺套和螺圈固定在线圈支架上。本发明采用电磁式，结构简单、不易污染、使用方便，且将消像散所产生的磁路限制在一个很小的范围内，增强了消像散的功能。
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公开(公告)号：CN102136406A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201110032112.1
申请日：2011-01-28
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开一种电子显微镜的小聚光镜，属电子显微镜领域。包括：下极靴为上端开口的圆筒体，圆筒体上端开口外设有法兰，下端设有圆锥形底，圆锥形底上设有电子束通孔；上极靴为中空的圆筒体，上极靴下端设有环形凸台，上极靴设在下极靴内；磁路线圈组件由环形线圈套装在线圈筒架上构成，线圈筒架为中空圆筒体，圆筒体两端设有固定环形线圈的挡板；磁路线圈组件套装在下极靴内的上极靴上，夹设在上、下极靴之间，磁路线圈组件底端通过线圈垫板设置在上极靴的环形凸台上；下极靴的上端开口的法兰上设置能盖住下极靴内各部件的隔圈，隔圈与下极靴固定连接，隔圈的中心部位设有通孔。该小聚光镜结构简单，使用方便。
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公开(公告)号：CN101602183B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200910087975.1
申请日：2009-06-26
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种制备近场光学探针的装置及其方法，所述装置包括减振橡胶、支撑底板、三相无刷电机、调节架和光学显微镜，所述的支撑底板水平设置的减震橡胶上，支撑底板上固定三相无刷电机、调节架和光学显微镜；所述方法首先将石英光纤固定在调节架上，并以设定的角度固定在研磨材料的上方，当研磨材料旋转时，使光纤接近研磨材料并产生摩擦，然后将光纤沿其轴向旋转不同的角度，反复与研磨片接近并摩擦；即可磨制出三棱锥、四棱锥及圆锥等不同形状的近场光学探针。该方法克服了制作光纤探针锥角的限制，可以直接设定研磨锥角，制作方式灵活；制作过程安全、环保；制备时间短，参数容易精确控制，重复性好；整个装置的操作简便，制备成本低廉。
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公开(公告)号：CN102386047B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110349657.5
申请日：2011-11-08
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/02
摘要： 本发明属于微纳测控技术领域，具体涉及一种透射电子显微镜的物镜线圈，该物镜线圈由物镜线框组件、漆包线、中间圆板、屏蔽半圆环A和屏蔽半圆环B组成。物镜线框组件包括上水套组件、下水套组件和芯套。芯套具有上部凸台、中部凸台A、中部凸台B和下部凸台，上水套组件和下水套组件结构相同，上水套组件由上水套板、上隔水板和上水套盖组成；下水套组件由下水套板、下隔水板和下水套盖组成。上水套板通过四周氩弧焊焊接在上部凸台上，上水套盖穿过上部凸台顶端，通过四周氩弧焊焊接在上水套板的顶部。本发明中上水套组件和下水套组件分别对物镜的上线包和下线包进行冷却，冷却效果好，采用高温控精度的冷水机，温度波动小，精度高。
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公开(公告)号：CN102231354A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201110077408.5
申请日：2011-03-29
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开一种电子显微镜的电子枪换气装置，属电子显微镜领域。包括：四通组件设有进气接口、抽放气接口、压力表接口和接电子枪的换气接口，四个接口通过四通组件内部相互连通；其中，四通组件的进气接口与充气组件的出气口连接，抽放气接口经转换阀与抽气装置连接，压力表接口与电接点压力表连接；转换阀设有抽气接口和四通组件接口，通过四通组件接口与四通组件的抽放气接口连接，通过抽气接口与抽气装置连接，转换阀内设有开关，开关设有抽气、充气和放气三个位置，处于抽气位置时能使四通组件接口与抽气接口之间连通；处于充气位置时能使四通组件接口与抽气接口都关闭，处于放气位置能进行放气。该换气装置结构简单，操作方便，密封性好。
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公开(公告)号：CN102169790A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110077399.X
申请日：2011-03-29
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/141
摘要： 本发明公开一种电子显微镜的第一聚光镜，属电子显微镜领域。包括：外壳为两端开口的圆柱环形空腔；上盖板、密封隔圈和磁环连接后设置在外壳内，上盖板盖住外壳的上端开口，在上盖板上设置铅板，上盖板、密封隔圈和磁环的中间部位均设有相互连通的通孔；上盖板、密封隔圈和磁环的连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和极靴组件，固定光阑组件和极靴组件中间部位均设有相互连通的通孔，连通后的通孔作为该第一聚光镜的电子束通路；在极靴组件连接处的密封隔圈和磁环外面围绕设置磁路线圈，磁路线圈上面设有水套隔圈组件，水套隔圈组件的上面为上盖板。该第一聚光镜结构简单，零部件少，操作方便，便于装配和维修，能将电子枪交叉点的电子束斑进行较大地缩小，提高电子显微镜性能。
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公开(公告)号：CN101576466B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200910085101.2
申请日：2009-05-31
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种组合式三维高速扫描装置，该装置主要包括三维扫描器和高速一维扫描器，当样品台固定在高速一维扫描器上时，所述的高速一维扫描器通过固定底座安装在三维扫描器上，高速一维扫描器带动样品台与三维扫描器一起实现三维高速扫描；当样品台固定在三维扫描器上时，所述的高速一维扫描器固定在探针固定架上，高速一维扫描器带动探针与三维扫描器一起实现三维高速扫描。本发明具有扫描速度非常高(视频扫描速度)、扫描范围大，结构简单，使用简便、成本低廉；抗干扰能力强，能够很好地实现SPM高速成像。
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公开(公告)号：CN101303903A
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200810116122.1
申请日：2008-07-03
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种微小型原子力显微镜的驱动装置，由弹簧基板、线圈基座、三个隔板和上下盖板组成；上盖板与下盖板之间从上至下设有A隔板、弹簧基板、B隔板、C隔板、线圈基座。本发明驱动装置通过长螺钉的一端分别穿过A通孔、B通孔、C通孔、D通孔、E通孔后与螺母螺纹连接来实现将A隔板、弹簧基板、B隔板、C隔板、线圈基座固定夹紧在上盖板与下盖板之间。本发明的驱动装置是一种体积小、重量轻、扫描范围大的原子力显微镜的全新的驱动机构，当给电流线圈通电时，电流线圈的磁场和永磁体的磁场的将发生吸引或排斥作用而产生振动运动，从而达到三维驱动的效果。
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公开(公告)号：CN101301994A
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200810116424.9
申请日：2008-07-10
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： B82B3/00 , H01J37/26 , H01J37/252
摘要： 本发明公开了一种电子束－离子束微纳米加工组合系统，电子束、离子束能同时工作，SEM中的电子可以和带正电的离子相结合，有效减小了样品表面因电荷积累引起的对观察与分析的影响。本发明电子束－离子束微纳米加工组合系统包括有法兰、扫描电子显微镜、聚焦离子束装置、计算机，计算机为扫描电子显微镜的一部分，法兰安装在扫描电子显微镜的反应室的斜面上，聚焦离子束装置的离子枪安装在法兰的通孔中。本设计方案由于采用了电子束和离子束对称装置，具有结构稳定、简洁、美观，对中方便、精确，图像清晰、样品台稳定性高等优点，有利于提高电子束的成像质量。
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