发明授权
- 专利标题: 多点电压和电流探针系统
- 专利标题(英): Multipoint voltage and current probe system
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申请号: CN200710163802.4申请日: 2007-09-30
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公开(公告)号: CN101267707B公开(公告)日: 2012-10-10
- 发明人: 雷·切尔瑞 , 托德·海克尔曼 , 戴维·J·库莫
- 申请人: MKS仪器有限公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: MKS仪器有限公司
- 当前专利权人: MKS仪器有限公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 陆弋; 朱登河
- 优先权: 60/894,738 20070314 US; 11/763,298 20070614 US
- 主分类号: H05H1/46
- IPC分类号: H05H1/46 ; G01R21/00
摘要:
一种多点电压和电流探针系统。计量系统监视在电路中多个位置处的射频(RF)功率。该系统包括:多个RF传感器,其基于所述RF功率的电气特性生成相应的模拟信号;多路复用模块,其基于所述模拟信号生成输出信号;和分析模块,其基于所述输出信号生成消息。所述消息包含与由所述多个RF传感器感测的电气特性相关的信息。
公开/授权文献
- CN101267707A 多点电压和电流探针系统 公开/授权日:2008-09-17
IPC分类: