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公开(公告)号：CN112908824A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110062133.1
申请日：2016-05-12
申请人： MKS仪器有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 一种用于对将功率施加到诸如等离子体腔室等的负载的RF功率供应器进行控制的系统包括：主控功率供应器和从属功率供应器。主控功率供应器向从属功率供应器提供诸如频率及相位信号的控制信号。从属功率供应器接收该频率及相位信号，并且还接收从负载检测到的频谱发射的信号特征。从属RF功率供应器改变施加到负载的从属RF功率供应器的RF输出信号的相位和功率。改变功率将对离子分布函数的宽度进行控制，并且改变相位将对离子分布的波峰进行控制。根据RF发生器与负载之间的耦合，检测不同的频谱发射，包括一次谐波、二次谐波、以及在双频驱动系统的情况下的互调失真。
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公开(公告)号：CN105103660B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201380074722.5
申请日：2013-11-21
申请人： MKS仪器有限公司
CPC分类号： B23K20/10 , B23K20/004 , B23K2101/42 , H01J37/32082 , H01J37/32165 , H01J37/32183
摘要： 一种射频(RF)功率传递系统包括第一RF发生器和第二RF发生器。该第一RF发生器作为主RF发生器操作，并且第二RF发生器作为从RF发生器操作。该从RF发生器包括用于感测该从RF发生器的RF信号的电气性质的检测器。该从RF发生器还包括用于感测来自该主RF发生器的RF信号的电气性质的检测器。该从RF发生器的操作受主管器或控制器控制。该主管器或控制器根据由第二检测器确定的电气性质，操作该从RF发生器。
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公开(公告)号：CN104124130A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201410171657.4
申请日：2014-04-25
申请人： MKS仪器有限公司
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32082 , H01J37/32155 , H01J37/32165 , H01J37/32935 , H05H2001/4682
摘要： 本发明公开了频率和相位的多射频功率源控制。一种系统具有第一RF发生器及第二RF发生器。该第一RF发生器控制该第二RF发生器的频率。该第一RF发生器包括功率源、传感器及传感器信号处理单元。该传感器信号处理单元联接至该功率源和该传感器。该传感器信号处理单元缩放该第一RF发生器的频率，以控制该第二RF发生器的频率。
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公开(公告)号：CN101566642B
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN200910134257.5
申请日：2009-04-09
申请人： MKS仪器有限公司
发明人： 托德·海克尔曼 , 戴维·J·库莫 , 约根德拉·K.·肖拉
CPC分类号： G01R15/181 , G01R15/142 , G01R19/28 , H01F27/2804 , H01F27/362 , H01F38/26 , H01F38/30
摘要： 本发明提供具有高动态范围的正交射频电压/电流传感器。一种测量RF电流的射频RF传感器包括具有限定孔的内周界的基板。导体延伸通过所述孔。传感器焊盘被布置在所述孔上，并且被连接成形成两个传感器回路。所述回路生成表示流经中心导体的RF电流的电信号。另外，多个圆形导电圈可以被包括在所述RF传感器中以生成表示所述导体的电压的信号。
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公开(公告)号：CN101267707B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200710163802.4
申请日：2007-09-30
申请人： MKS仪器有限公司
CPC分类号： H01J37/32935 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H04B17/318
摘要： 一种多点电压和电流探针系统。计量系统监视在电路中多个位置处的射频(RF)功率。该系统包括：多个RF传感器，其基于所述RF功率的电气特性生成相应的模拟信号；多路复用模块，其基于所述模拟信号生成输出信号；和分析模块，其基于所述输出信号生成消息。所述消息包含与由所述多个RF传感器感测的电气特性相关的信息。
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公开(公告)号：CN111954916B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN201980024263.7
申请日：2019-06-24
申请人： MKS仪器有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 一种电源控制系统包括用于向负载提供信号的功率发生器。功率发生器包括控制功率放大器的功率控制器。功率发生器包括用于改变控制功率放大器的输出信号的自适应控制器。自适应控制器比较测量输出与预测输出之间的误差，以确定应用于功率控制器的自适应值。功率发生器还包括产生被数字化和处理的输出信号的传感器。传感器信号与常量K混合。改变常量K，以改变对传感器输出信号的处理。K值可基于相位、频率或相位和频率两者进行换向，并且K的带宽由传感器输出信号中的耦合功率来确定。
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公开(公告)号：CN109155618B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201780031697.0
申请日：2017-03-21
申请人： MKS仪器有限公司
发明人： 戴维·J·库莫 , 丹尼斯·M·布朗 , 亚伦·T·瑞多姆斯基 , 马里乌斯·欧尔德杰伊 , 约根德拉·K.·肖拉 , 丹尼尔·J·林肯
摘要： eVC包括粗调谐网络和细调谐网络。粗调谐网络包括电路用于：从RF发生器接收RF输入信号；将RF输出信号输出到参考端子或负载；以及接收DC偏置电压。电路在第一状态和第二状态之间切换。电路的电容在处于第一状态时是基于DC偏置电压，并且在处于第二状态时不基于DC偏置电压。细调谐网络并联连接到粗调谐网络并且包括可变电抗器。可变电抗器包括：接收RF输入信号的第一二极管；以及与第一二极管以背对背配置连接、并将RF输出信号输出到参考端子或负载的第二二极管。可变电抗器的电容是基于第二接收的DC偏置电压的。
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公开(公告)号：CN111954916A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201980024263.7
申请日：2019-06-24
申请人： MKS仪器有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 一种电源控制系统包括用于向负载提供信号的功率发生器。功率发生器包括控制功率放大器的功率控制器。功率发生器包括用于改变控制功率放大器的输出信号的自适应控制器。自适应控制器比较测量输出与预测输出之间的误差，以确定应用于功率控制器的自适应值。功率发生器还包括产生被数字化和处理的输出信号的传感器。传感器信号与常量K混合。改变常量K，以改变对传感器输出信号的处理。K值可基于相位、频率或相位和频率两者进行换向，并且K的带宽由传感器输出信号中的耦合功率来确定。
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公开(公告)号：CN106411272B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201610903050.X
申请日：2012-12-28
申请人： MKS仪器有限公司
发明人： 戴维·J·库莫
摘要： 本申请公开了频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统。一种射频系统包括：功率放大器，该功率放大器经由所述功率放大器与匹配网络之间的传输线路将射频信号输出到所述匹配网络。传感器监控所述射频信号并基于所述射频信号生成第一传感器信号。失真模块根据(i)所述第一传感器信号的正弦曲线函数和(ii)所述第一传感器信号的互相关函数中的至少一个确定第一失真值。第一校正电路(i)基于所述第一失真值和第一预定值生成第一阻抗调谐值，以及(ii)提供在所述匹配网络中执行的阻抗匹配的前馈控制，包括将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器和所述匹配网络中的一个。
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公开(公告)号：CN107924806B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201680049837.2
申请日：2016-05-12
申请人： MKS仪器有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 一种用于对将功率施加到诸如等离子体腔室等的负载的RF功率供应器进行控制的系统包括：主控功率供应器和从属功率供应器。主控功率供应器向从属功率供应器提供诸如频率及相位信号的控制信号。从属功率供应器接收该频率及相位信号，并且还接收从负载检测到的频谱发射的信号特征。从属RF功率供应器改变施加到负载的从属RF功率供应器的RF输出信号的相位和功率。改变功率将对离子分布函数的宽度进行控制，并且改变相位将对离子分布的波峰进行控制。根据RF发生器与负载之间的耦合，检测不同的频谱发射，包括一次谐波、二次谐波、以及在双频驱动系统的情况下的互调失真。
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