一种中高密度生物芯片原位合成仪，属于生物芯片制备技术领域，利用该设备可以实现自动化、规模化原位合成生产廉价、可靠、质量高的基因芯片和多肽芯片。仪器设备整体上由生物芯片合成平台和三维直角机器人系统两部分组成，生物芯片合成平台嵌入固定在三维直角机器人系统的底部。其中三维直角机器人系统由直线电机伺服系统和机械操作手构成，而直线电机伺服系统具体由直线电机X-Y平台、伺服驱动器、PC机、伺服运动控制卡构成。机械操作手安装固定于直线电机X-Y平台的定位头上，由小型精密气动滑台和真空吸盘组合而成，实现抓取玻片和压印的功能。生物芯片合成平台主要由底座以及其上设计加工的四个构造相同的微流体自驱动装置和多功能喷淋池以及自动加液装置构成。微流体自驱动装置通过加液管与自动加液装置相连。