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图像传感器及其制造方法
摘要:
本发明提供一种图像传感器及其制造方法。像素区域和外围电路区域在半导体衬底上具有阶梯差。互补金属氧化物半导体(CMOS)电路设置于所述像素区域上,并且层间介电层设置于所述像素区域和所述外围电路区域上。光电二极管这样设置于所述像素区域的层间介电层上,以使所述光电二极管的顶部、或者所述光电二极管的本征层顶部,与所述外围电路区域的层间介电层的顶部基本齐平。本发明可以在半导体衬底上形成具有PIN结构的光电二极管,并将晶体管电路和光电二极管垂直集成,因此,填充系数接近100%。在相同的像素尺寸下,本发明可以提供比现有技术更高的灵敏度。
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