发明授权
CN101320741B 图像传感器及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 图像传感器及其制造方法
- 专利标题(英): Image sensor and its manufacture method
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申请号: CN200710187025.7申请日: 2007-11-19
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公开(公告)号: CN101320741B公开(公告)日: 2010-10-13
- 发明人: 洪志镐
- 申请人: 东部高科股份有限公司
- 申请人地址: 韩国首尔
- 专利权人: 东部高科股份有限公司
- 当前专利权人: 东部高科股份有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国首尔
- 代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 郑小军
- 优先权: 10-2007-0055766 2007.06.08 KR
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146 ; H01L21/822
摘要:
本发明提供一种图像传感器及其制造方法。像素区域和外围电路区域在半导体衬底上具有阶梯差。互补金属氧化物半导体(CMOS)电路设置于所述像素区域上,并且层问介电层设置于所述像素区域和所述外围电路区域上。光电二极管这样设置于所述像素区域的层间介电层上,以使所述光电二极管的顶部、或者所述光电二极管的本征层顶部,与所述外围电路区域的层问介电层的顶部基本齐平。本发明可以在半导体衬底上形成具有PIN结构的光电二极管,并将晶体管电路和光电二极管垂直集成,因此,填充系数接近100%。在相同的像素尺寸下,本发明可以提供比现有技术更高的灵敏度。
公开/授权文献
- CN101320741A 图像传感器及其制造方法 公开/授权日:2008-12-10
IPC分类: