对位装置、接合装置和对位方法
摘要:
本发明公开了一种对位装置,该对位装置可以可靠地修正电子元件之间的相对偏位量,并提高电子元件对位的精确性,同时,也公开了一种装有该对位装置的接合装置,以及一种对位方法。由于图像获取口(21)从腔体(3)的外表面向内凹进,从而形成一个空间(11),即使当腔体(3)与第二部件(28)一起移动时,图像识别装置(47)设置在空间(11)内,从而可以防止与腔体(3)的运动产生干涉。这使得腔体(3)可以自由运动,而不受任何限制。从而,第一部件(12)和第二部件(28)中的一方可以相对另一方自由移动,而不受图像识别装置(47)的限制,从而第一部件(12)上的第一晶片(W1)和第二部件(28)上的第二晶片(W2)可以可靠地对位。
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