发明公开
CN101326457A 对位装置、接合装置和对位方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 对位装置、接合装置和对位方法
- 专利标题(英): Aligning apparatus, bonding apparatus and aligning method
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申请号: CN200680046593.9申请日: 2006-09-04
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公开(公告)号: CN101326457A公开(公告)日: 2008-12-17
- 发明人: 平田笃彦 , 福永茂树 , 山根茂树 , 名村光弘 , 铃木新 , 渡边智也
- 申请人: 株式会社村田制作所
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 曾旻辉
- 优先权: 357955/2005 2005.12.12 JP
- 国际申请: PCT/JP2006/317467 2006.09.04
- 国际公布: WO2007/069376 JA 2007.06.21
- 进入国家日期: 2008-06-12
- 主分类号: G02F1/13
- IPC分类号: G02F1/13 ; H01L21/68
摘要:
本发明公开了一种对位装置,该对位装置可以可靠地修正电子元件之间的相对偏位量,并提高电子元件对位的精确性,同时,也公开了一种装有该对位装置的接合装置,以及一种对位方法。由于图像获取口(21)从腔体(3)的外表面向内凹进,从而形成一个空间(11),即使当腔体(3)与第二部件(28)一起移动时,图像识别装置(47)设置在空间(11)内,从而可以防止与腔体(3)的运动产生干涉。这使得腔体(3)可以自由运动,而不受任何限制。从而,第一部件(12)和第二部件(28)中的一方可以相对另一方自由移动,而不受图像识别装置(47)的限制,从而第一部件(12)上的第一晶片(W1)和第二部件(28)上的第二晶片(W2)可以可靠地对位。
公开/授权文献
- CN101326457B 对位装置、接合装置和对位方法 公开/授权日:2010-11-17