发明授权
CN101329992B 流体温度调整设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: 流体温度调整设备
- 专利标题(英): Fluid temperature regulating equipment
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申请号: CN200710123321.0申请日: 2007-06-20
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公开(公告)号: CN101329992B公开(公告)日: 2010-11-03
- 发明人: 冯传彰 , 许本谐 , 谢宏亮 , 刘茂林 , 郑加元 , 林生海
- 申请人: 辛耘企业股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾台北市内湖区瑞光路208号11楼
- 专利权人: 辛耘企业股份有限公司
- 当前专利权人: 辛耘企业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾台北市内湖区瑞光路208号11楼
- 代理机构: 北京申翔知识产权代理有限公司
- 代理商 周春发
- 主分类号: H01L21/00
- IPC分类号: H01L21/00 ; H01L21/306
摘要:
本发明一种流体温度控制系统及其温度调整设备,包括有液体反应槽、温度感应器、温度调整设备、第一流出管路以及第一流入管路,其中第一流出管路及第一流入管路连通于液体反应槽与温度调整设备间,藉由温度调整设备来对液体反应槽内的反应液体进行温度的调整,例如在反应液体经由第一流出管路进入于温度调整设备内时,即可对反应液体进行升温或降温的作业,待反应液体到达预设的作业温度后,再由第一流入管路回流至液体反应槽内,如此即可继续进行后续的作业。
公开/授权文献
- CN101329992A 流体温度控制系统及其温度调整设备 公开/授权日:2008-12-24
IPC分类: