发明公开
CN101346808A 底栅电极薄膜晶体管
失效 - 权利终止
- 专利标题: 底栅电极薄膜晶体管
- 专利标题(英): Bottom gate thin film transistors
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申请号: CN200680049281.3申请日: 2006-12-21
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公开(公告)号: CN101346808A公开(公告)日: 2009-01-14
- 发明人: 丹尼斯·E·沃格尔 , 布拉因·K·纳尔逊
- 申请人: 3M创新有限公司
- 申请人地址: 美国明尼苏达州
- 专利权人: 3M创新有限公司
- 当前专利权人: 3M创新有限公司
- 当前专利权人地址: 美国明尼苏达州
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 郇春艳; 郭国清
- 优先权: 11/275,367 2005.12.28 US
- 国际申请: PCT/US2006/048804 2006.12.21
- 国际公布: WO2007/078993 EN 2007.07.12
- 进入国家日期: 2008-06-26
- 主分类号: H01L21/335
- IPC分类号: H01L21/335 ; H01L21/331
摘要:
本发明提供了晶体管,包括:基板;栅电极;不位于基板和栅电极之间的半导体材料、与半导体材料接触的源电极、与半导体材料接的漏电极、和与栅电极和半导体材料接触的介电材料;其中所述半导体材料包括:如本文描述的1-99.9重量%的在1KHz时介电常数大于3.3的所述聚合物、0.1-99重量%的官能团化并五苯化合物。
公开/授权文献
- CN101346808B 底栅电极薄膜晶体管 公开/授权日:2010-05-26
IPC分类: