发明公开
CN101356481A 远程区域中的压力调节
无效 - 撤回
- 专利标题: 远程区域中的压力调节
- 专利标题(英): Pressure regulation in remote zones
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申请号: CN200680050842.1申请日: 2006-11-08
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公开(公告)号: CN101356481A公开(公告)日: 2009-01-28
- 发明人: 阿里·沙吉 , 西达尔斯·P·那加尔卡蒂 , G·希尔
- 申请人: MKS仪器公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞
- 专利权人: MKS仪器公司
- 当前专利权人: MKS仪器公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈松涛; 王英
- 优先权: 11/333,142 2006.01.17 US
- 国际申请: PCT/US2006/043692 2006.11.08
- 国际公布: WO2007/123576 EN 2007.11.01
- 进入国家日期: 2008-07-10
- 主分类号: G05D7/06
- IPC分类号: G05D7/06 ; G05D16/20 ; H01L21/321
摘要:
一种压力控制系统,其通过控制流体流入和流出每个外壳来对一个或多个远程区域内的压力进行远程控制,每个远程区域分别经由导管连接至外壳。流体的压力是在每个外壳内测量的。根据测量的外壳内的压力和导管和区域的已知特性,计算每个区域内的估计体积。对于每个区域,操作每个外壳的入口比例阀和出口比例阀,以便根据压力设定点和估计压力来控制流体流入各个外壳的输入流率和流体从外壳流出的输出流率。