公开(公告)号：CN101356481A

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200680050842.1

申请日：2006-11-08

申请人： MKS仪器公司

发明人： 阿里·沙吉 ,  西达尔斯·P·那加尔卡蒂 ,  G·希尔

IPC分类号： G05D7/06 ,  G05D16/20 ,  H01L21/321

CPC分类号： G05D16/206 ,  H01L21/30625 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/7838 ,  Y10T137/87209 ,  Y10T137/8733 ,  Y10T137/8741 ,  Y10T137/87507 ,  Y10T137/87772

摘要： 一种压力控制系统，其通过控制流体流入和流出每个外壳来对一个或多个远程区域内的压力进行远程控制，每个远程区域分别经由导管连接至外壳。流体的压力是在每个外壳内测量的。根据测量的外壳内的压力和导管和区域的已知特性，计算每个区域内的估计体积。对于每个区域，操作每个外壳的入口比例阀和出口比例阀，以便根据压力设定点和估计压力来控制流体流入各个外壳的输入流率和流体从外壳流出的输出流率。