• 专利标题: 一种自旋转移器件及其制备方法
  • 专利标题(英): Self-rotary transferring device and preparation thereof
  • 申请号: CN200810223023.3
    申请日: 2008-09-26
  • 公开(公告)号: CN101359715B
    公开(公告)日: 2012-05-16
  • 发明人: 陈培毅任敏邓宁董浩张磊
  • 申请人: 清华大学
  • 申请人地址: 北京市100084-82信箱
  • 专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人地址: 北京市100084-82信箱
  • 主分类号: H01L43/08
  • IPC分类号: H01L43/08 H01L43/12
一种自旋转移器件及其制备方法
摘要:
一种自旋转移器件及其制备方法,属于自旋输运器件技术领域,其特征在于,在二氧化硅衬底上首先制作底电极,再生长绝缘层和掩模金属,然后通过电子束曝光和离子束刻蚀、反应离子刻蚀在绝缘层中形成和底电极连通的顶部较小、底部较大的纳米级限制结构,再通过超高真空磁控溅射向纳米级限制结构中依次淀积“铁磁/非磁/铁磁”金属多层膜,自对准地形成纳米级柱状结构,最后制作顶电极。这种以纯干法刻蚀来形成纳米级限制模版的方法,工艺的可控性和重复性好。淀积的多层膜结构经过优化,可降低实现电流诱导磁化翻转的临界电流,为新一代的超高密度、低功耗磁随机存储器提供了可能。
公开/授权文献
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