发明公开
CN101398638A 一种光刻胶清洗剂
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种光刻胶清洗剂
- 专利标题(英): Detergent for photo resist
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申请号: CN200710046699.5申请日: 2007-09-29
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公开(公告)号: CN101398638A公开(公告)日: 2009-04-01
- 发明人: 史永涛 , 彭洪修 , 曹惠英
- 申请人: 安集微电子(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室
- 专利权人: 安集微电子(上海)有限公司
- 当前专利权人: 安集微电子(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室
- 代理机构: 上海翰鸿律师事务所
- 代理商 李佳铭
- 主分类号: G03F7/42
- IPC分类号: G03F7/42 ; C11D7/34 ; C11D7/32 ; C11D7/26
摘要:
本发明公开了一种光刻胶清洗剂,其含有:季铵氢氧化物、水、烷基二醇芳基醚、二甲基亚砜、聚羧酸类缓蚀剂和氨基唑类缓蚀剂。本发明的光刻胶清洗剂可以有效除去金属、金属合金或电介质基材上的光刻胶(光阻)和其它刻蚀残留物,同时对铝和铜等金属,以及二氧化硅等非金属材料具有很低的腐蚀性,还可防止金属表面氧化物的产生,在半导体晶片清洗等微电子领域具有良好的应用前景。
IPC分类: