发明公开

一种光刻胶清洗剂
摘要:
本发明公开了一种光刻胶清洗剂,其含有:季铵氢氧化物、水、烷基二醇芳基醚、二甲基亚砜、聚羧酸类缓蚀剂和氨基唑类缓蚀剂。本发明的光刻胶清洗剂可以有效除去金属、金属合金或电介质基材上的光刻胶(光阻)和其它刻蚀残留物,同时对铝和铜等金属,以及二氧化硅等非金属材料具有很低的腐蚀性,还可防止金属表面氧化物的产生,在半导体晶片清洗等微电子领域具有良好的应用前景。
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