激光切割熔丝方法及其测试结构和方法、测试晶圆
Abstract:
一种激光切割熔丝的测试结构,包括第一熔丝和第二熔丝,第一熔丝、第二熔丝间隔排列,第一熔丝电性连接形成串联熔丝链,第一熔丝、第二熔丝电性连接形成并联熔丝链。所述的测试结构还包括分别电性连接串联熔丝链两端的第一电极垫、第二电极垫,与并联熔丝链没有连接第一电极垫、第二电极垫的一端电性连接的第三电极垫。采用所述的测试结构对激光切割熔丝进行测试,能够预测激光对熔丝的切割效果,以此调整激光器的参数来产生可以准确切割熔丝的激光。本发明还公开了一种激光切割熔丝的测试方法、激光切割熔丝的方法及测试晶圆。
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