本发明提供了一种在基板上沉积含硅和氮的膜的方法。所述方法包括将含硅前体引入到包含基板的沉积室中，其中含硅前体包括至少两个硅原子。所述方法还包括通过远程等离子体系统产生至少一种自由基氮前体，所述远程等离子体系统设置在沉积室外部。而且，所述方法包括将自由基氮前体引入到沉积室中，在所述沉积室中自由基氮和含硅前体反应且在基板上沉积含硅和氮的膜。而且，所述方法包括在蒸汽气氛中退火含硅和氮的膜以形成氧化硅膜，其中蒸汽气氛包括水和酸性蒸汽。