发明授权
CN101419465B 一种SPM探针增强作业方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种SPM探针增强作业方法
- 专利标题(英): SPM probe enhancement work method
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申请号: CN200710157706.9申请日: 2007-10-26
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公开(公告)号: CN101419465B公开(公告)日: 2010-04-07
- 发明人: 刘志华 , 杨永良 , 董再励 , 王越超
- 申请人: 中国科学院沈阳自动化研究所
- 申请人地址: 辽宁省沈阳市东陵区南塔街114号
- 专利权人: 中国科学院沈阳自动化研究所
- 当前专利权人: 中国科学院沈阳自动化研究所
- 当前专利权人地址: 辽宁省沈阳市东陵区南塔街114号
- 代理机构: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
- 代理商 许宗富; 周秀梅
- 主分类号: G05D3/00
- IPC分类号: G05D3/00
摘要:
本发明涉及纳米科技中纳米尺度物体的操作技术,具体公开一种SPM探针增强作业方法。它通过控制参数设定操作的起始位置和终止位置,通过基于探针预编程的平动操作规划方法或转动操作规划方法中规定的单步操作距离或旋转角度、操作点间距和方向,计算出探针操作点数,并实现平动或转动操作。采用本发明能克服现有技术中因探针直径小而对被操作对象只能进行点操作、无法对操作对象的位姿进行有效的控制的不足,具有小步距、快速多点定向,操作高效,控制被操作对象位姿的特点。
公开/授权文献
- CN101419465A 一种SPM探针增强作业方法 公开/授权日:2009-04-29