一种柔性非晶硅薄膜太阳电池的制备方法
摘要:
本发明涉及一种柔性非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法,所选用的柔性衬底为聚酰亚胺薄膜(PI膜)。其主要工艺步骤为:(1)清洗柔性衬底(PI膜);(2)预烘PI膜;(3)制备Al背电极;(4)制备ZnO薄膜缓冲层;(5)利用PECVD制备NIP非晶硅薄膜;(6)制备Al前电极。本发明由于采用PI膜预烘工艺和ZnO薄膜缓冲层,使得电池的光电转换效率得到提高。该柔性电池具有极好的柔软性,可以任意卷曲。同时制备工艺简单,可实现规模生产。
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