发明授权
- 专利标题: 一种柔性非晶硅薄膜太阳电池的制备方法
- 专利标题(英): Production method of flexible amorphous silicon thin-film solar cell
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申请号: CN200810236695.8申请日: 2008-12-02
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公开(公告)号: CN101431127B公开(公告)日: 2010-06-30
- 发明人: 曾祥斌 , 赵伯芳 , 王慧娟 , 陈宇 , 宋志成 , 曾瑜
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 曹葆青
- 主分类号: H01L31/20
- IPC分类号: H01L31/20
摘要:
本发明涉及一种柔性非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法,所选用的柔性衬底为聚酰亚胺薄膜(PI膜)。其主要工艺步骤为:(1)清洗柔性衬底(PI膜);(2)预烘PI膜;(3)制备Al背电极;(4)制备ZnO薄膜缓冲层;(5)利用PECVD制备NIP非晶硅薄膜;(6)制备Al前电极。本发明由于采用PI膜预烘工艺和ZnO薄膜缓冲层,使得电池的光电转换效率得到提高。该柔性电池具有极好的柔软性,可以任意卷曲。同时制备工艺简单,可实现规模生产。
公开/授权文献
- CN101431127A 一种柔性非晶硅薄膜太阳电池的制备方法 公开/授权日:2009-05-13
IPC分类: