- 专利标题: 利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法
- 专利标题(英): Method for implementing multi-substance detection by utilizing simple micromechanical cantilever beam
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申请号: CN200810208129.6申请日: 2008-12-26
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公开(公告)号: CN101451946B公开(公告)日: 2010-12-22
- 发明人: 于海涛 , 李昕欣 , 李俊纲 , 许鹏程 , 陈滢
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 潘振甦
- 主分类号: G01N19/00
- IPC分类号: G01N19/00
摘要:
本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作,特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜,利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零,而自由端处质量检测灵敏度最大的特性,通过同时记录悬臂梁的各个模态在检测前后频率的变化,得到各个敏感位置所吸附的不同物质的质量,从而实现用单根悬臂梁检测多种物质。本发明的特点是结构简单、制作方便、容易实现以及扩展性好等特点。
公开/授权文献
- CN101451946A 利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法 公开/授权日:2009-06-10