-
公开(公告)号：CN111362226B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202010171515.3
申请日：2020-03-12
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法，包括：固支部和微悬臂梁部，所述微悬臂梁部包括高温区和低温区，所述低温区的一端与所述高温区连接，所述低温区的另一端与所述固支部连接；所述高温区上设有加热线圈；所述低温区上设有检测元件；所述高温区和所述低温区之间设有至少一个阻热孔，所述阻热孔贯穿所述微悬臂梁设置。通过在微悬臂梁中部附近区域设计有镂空的阻热孔，将微悬臂梁分为靠近自由端的高温区和靠近固支部的低温区两部分。在高温区设计有加热线圈，可以对微悬臂梁加热；加热线圈可以将梁上高温区加热，而低温区可以保持在低温状态，确保检测元件可以正常工作。
-
公开(公告)号：CN114184596B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202111499332.5
申请日：2021-12-09
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明提供一种同步热重‑拉曼光谱表征方法，通过具有自加热功能的芯片实时称量升温过程中待测样品的质量变化，得到热重曲线；同时通过显微镜将激光聚焦于待测样品表面，以采集升温过程中待测样品散射的拉曼光谱，实时提取待测样品的结构变化信息。本发明提供的同步热重‑拉曼光谱表征方法，可在热重分析获得待测样品的动力学性质的同时，表征待测样品的结构、物像演变，具有原位、无损、快速、精度高、样品用量少等优势。
-
公开(公告)号：CN109663562B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201910053294.7
申请日：2019-01-21
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： B01J20/10 , C02F1/28 , B01J20/30 , C02F101/30
摘要： 本发明提供一种介孔二氧化硅材料对有机磷吸附速度的控制方法，根据介孔二氧化硅材料的孔壁厚度与介孔二氧化硅材料对有机磷吸附活化能之间的定量关系，通过将两种具有不同孔壁厚度的介孔二氧化硅材料按比例混合，从而获得所需的对有机磷的吸附活化能，从而实现对有机磷吸附速度的控制。本发明提供的一种介孔二氧化硅材料对有机磷吸附速度的控制方法，无需专门制备具有对有机磷特定吸附速度的介孔二氧化硅材料，克服了传统的反复试验方法存在工作量大、耗时、缺乏定量比较依据等缺点，该方法先进、具有现实的应用意义，且易于操作、价格低廉。
-
公开(公告)号：CN111351733A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN202010171514.9
申请日：2020-03-12
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01N5/04
摘要： 本发明涉及测量仪器领域，本发明公开了一种高精度热重分析仪，其包括集成式谐振悬臂梁、样品测试腔、气体仓和数据采集系统；该集成式谐振悬臂梁设于该样品测试腔内，该集成式谐振悬臂梁与该样品测试腔的内壁、该数据采集系统连接，该集成式谐振悬臂梁用于对待测样品称重和加热；该集成式谐振悬臂梁包括谐振悬臂梁和加热元件；该谐振悬臂梁包括第一端；该第一端设有该加热元件，该加热元件用于加热该待测样品；该气体仓位于该样品测试腔的外部，该气体仓用于给该样品测试腔提供气体氛围。本发明提供的高精度热重分析仪具有结构简单和测量精度高的特点。
-
公开(公告)号：CN109682710A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910067908.7
申请日：2019-01-24
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC分类号： G01N5/00 , G01N1/28 , G01N23/04 , H01J37/261
摘要： 本发明提供一种用于TEM构效关联间接原位表征的芯片及其制作方法，芯片包括主芯片及辅芯片，其中，主芯片包括：检测悬臂梁、主芯片凹槽、具有观测孔的观测悬臂梁、主芯片窗口及气孔；辅芯片包括：辅芯片窗口；通过检测悬臂梁的谐振用以检测位于检测悬臂梁上的待测样品的质量变化；主芯片及辅芯片相对设置，并分别固定于TEM样品杆上，主芯片、辅芯片及TEM样品杆之间形成闭合空间；TEM通过辅芯片窗口、观测孔及主芯片窗口观测位于观测悬臂梁上的待测样品的形貌变化。本发明可以在TEM内实现形貌变化及质量变化的间接、原位、实时表征，可广泛应用于纳米材料在气固反应过程中的TEM原位表征。
-
公开(公告)号：CN105910946A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610486631.8
申请日：2016-06-28
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01N5/02
CPC分类号： G01N5/02
摘要： 本发明提供一种用于VOCs检测的传感系统及检测方法，所述传感系统包括：进样池，所述进样池上部设有进样口；检测池，所述检测池包括样品室、传感器室以及隔离所述样品室和传感器室的防水透气薄膜；固定于所述传感器室内的质量敏感型微传感器；位于所述检测池外、且与所述质量敏感型微传感器电连接的信号处理电路及显示设备；连接所述进样池和所述样品室的管道；以及位于所述管道上的液体泵。通过本发明提供的一种用于VOCs检测的传感系统及检测方法，解决了现有技术中用于液体环境下VOCs的检测设备体积过大、不便于现场分析的问题；及便携式质量敏感型微传感器用于液体环境下VOCs的检测时，难于起振并且质量灵敏度大幅下降的问题。
-
公开(公告)号：CN103728494B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201310697613.0
申请日：2013-12-17
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01R23/02
摘要： 本发明涉及一种谐振频率测量及跟踪系统和方法，主要组成包括计算机、多功能数据采集卡、直接数字频率合成器和传感器接口电路。与传统锁相环电路相比，省去了移相器，减少了不必要单元对信号造成的干扰，提高了信号精度。本发明简化了谐振频率的测量与跟踪，谐振频率及其变化便于实时观察并且自动保存于存储器中，检测过程无需技术人员干预完全由系统自动完成。
-
公开(公告)号：CN103626193B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201210306247.7
申请日：2012-08-24
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明涉及一种具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法，属于纳米功能材料制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液（简称为CES，25wt%）为制造具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的关键原材料，以表面活性剂CTAB（十六烷基三甲基溴化铵）为模板剂，碱性环境下与TEOS（正硅酸乙脂）在适当的反应条件下反应，即制得具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒。
-
公开(公告)号：CN104771857A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201410014641.2
申请日：2014-01-13
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： A62D3/30 , A62D101/26
CPC分类号： A62D3/30 , A62D2101/04 , A62D2101/26
摘要： 本发明涉及一种介孔氧化硅纳米材料的新用途，即将介孔氧化硅纳米材料应用于有机磷农药的吸附降解；介孔氧化硅纳米材料依靠介孔氧化硅材料表面的硅羟基（Si-OH）基团与有机磷农药分子中P=O（或P=S）基团的特异性作用，将有机磷农药分子吸附至介孔氧化硅材料表面；随后在Si-OH基团的作用下，使吸附的有机磷分子发生降解，生成低毒甚至无毒的产物。将介孔氧化硅纳米材料应用于有机磷农药的吸附降解，该用途先进、具有现实的应用意义，且材料制备简单成熟、易于操作、价格低廉。
-
公开(公告)号：CN102624384B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201210134270.2
申请日：2012-04-28
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： H03L7/08
摘要： 本发明提供一种带有频率自扫描功能的锁相环，应用在传感器及其接口电路中，包括：用以输出一频率两倍于输入信号或参考信号且占空比为50%的方波信号的鉴相器，对方波信号的高、低电平持续时间进行计数的超前滞后计数器，预设有相位锁定模式及频率自扫描模式的中央处理器，用以接收到频率控制字后进行相位累加并依据预设的正弦函数表进行数模转换后输出正弦波信号的数字频率合成器，及将正弦波信号转换为方波信号以作为参考信号输出至鉴相器的整形器，本发明的锁相环用于解决现有传感器接口电路领域的混合锁相环，其锁定范围比较受限，关键参数会因元件的离散而改变，易受温度漂移和器件老化的影响，且不利于接口电路系统各功能的集成的问题。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
51 条记录 (耗时 0.056 秒)
