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发明公开
CN101461050A 制造悬臂式探针的方法和使用该悬臂式探针制造探针卡的方法 无效 - 撤回

  • 专利标题： 制造悬臂式探针的方法和使用该悬臂式探针制造探针卡的方法
  • 专利标题（英）： Method of fabricating cantilever type probe and method of fabricating probe card using the same
  • 申请号： CN200780020573.9
    申请日： 2007-05-16
  • 公开(公告)号： CN101461050A
    公开(公告)日： 2009-06-17
  • 发明人: 李瀚茂 , 曹容辉
  • 申请人： 飞而康公司
  • 申请人地址： 韩国首尔市
  • 专利权人： 飞而康公司
  • 当前专利权人： 飞而康公司
  • 当前专利权人地址： 韩国首尔市
  • 代理机构： 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
  • 代理商 梁兴龙; 陈桂香
  • 优先权： 10-2006-0050717 2006.06.07 KR
  • 国际申请： PCT/KR2007/002390 2007.05.16
  • 国际公布： WO2007/142413 EN 2007.12.13
  • 进入国家日期： 2008-12-03
  • 主分类号： H01L21/66
  • IPC分类号： H01L21/66
制造悬臂式探针的方法和使用该悬臂式探针制造探针卡的方法
摘要：
本发明公开一种制造悬臂式探针的方法。根据该方法，在基底的尖部和伪尖部区域中分别形成凹槽之后，通过填充尖部和伪尖部区域的凹槽形成尖部和伪尖部。形成覆盖包括伪尖部的伪尖部区域的消耗性层。形成与尖部连接并在包括消耗性层的伪尖部上延伸的梁部。所述方法包括选择性地蚀刻尖部的基底并使尖部浮在基底上的步骤。因此，可以最小化在制造探针卡时对尖部的物理和化学损伤，从而提供稳定性，并且尖部的缺陷更小。
摘要（英）：

Disclosed is a method of fabricating a cantilever type probes. According to this method, after forming grooves each in tip portion and dummy tip portion regions of a substrate, the tip portion and dummy tip portion are formed with filling the grooves of the tip portion and dummy tip portion regions. A sacrificial layer is formed to cover the dummy tip portion region including dummy tip portion. A beam portion is formed in connection with the tip portion, extending upward the dummy tip portion including the sacrificial layer. The method includes steps of selectively etching the substrate of the tip portion and floating the tip portion from the substrate. Accordingly, it minimizes physical and chemical damages on the tip portion while fabricating a probe card, providing stability thereto with smaller defects of the tip portion.

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