公开(公告)号：CN101189711B

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200680019433.5

申请日：2006-06-01

Applicant: 飞而康公司

Inventor： 李瀚茂

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07342

Abstract: 本发明提供了一种探针板，该探针板易于装配、维修和构造，从而在检测程序中可以防止空间变换器的受控高度因例如热变形等各种因素而变化。这种探针板包括：设置有探针尖部的安装部件和布置在该安装部件上的印刷电路板(PCB)。加固部件固定在PCB的顶部表面上，并且接触部件布置在PCB与加固部件之间。借助于插入在形成于PCB中的插入孔内的连接部件来固定接触部件和安装部件，并且用于控制安装部件的高度的控制螺钉沿着从底部向顶部的方向按顺序地插入在形成于安装部件、PCB和加固部件中的控制孔内。由于接触部件的顶部表面向上突起，所以，即使在控制安装部件的高度时安装部件与接触部件倾斜，接触部件也会持续接触加固部件。

公开(公告)号：CN101762723A

公开(公告)日：2010-06-30

申请号：CN200910207279.X

申请日：2005-12-19

Applicant: 飞而康公司

Inventor： 李瀚茂

IPC: G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  G01R3/00

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/06727 ,  G01R1/06738 ,  G01R1/07342 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供了一种探针卡的制造方法。形成第一钝化图案，以用于在牺牲衬底上实现电检查探针的尖端部分和平坦度检测探针的尖端部分，并且执行使用第一钝化图案作为蚀刻掩模的蚀刻工艺，以在牺牲衬底中形成第一沟槽。除去第一钝化图案，并且形成具有暴露出第一沟槽的条型第一开口的第二钝化图案。在该开口中设置导电材料，以形成分别连接到检查探针和检测探针的尖端部分的横梁部分，从而形成检查探针和检测探针。将检查探针和检测探针的横梁部分结合到多层电路板。除去牺牲衬底以暴露出检查探针和检测探针。

公开(公告)号：CN101189711A

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200680019433.5

申请日：2006-06-01

Applicant: 飞而康公司

Inventor： 李瀚茂

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07342

Abstract: 本发明提供了一种探针板，该探针板易于装配、维修和构造，从而在检测程序中可以防止空间变换器的受控高度因例如热变形等各种因素而变化。这种探针板包括：设置有探针尖部的安装部件和布置在该安装部件上的印刷电路板(PCB)。加固部件固定在PCB的顶部表面上，并且接触部件布置在PCB与加固部件之间。借助于插入在形成于PCB中的插入孔内的连接部件来固定接触部件和安装部件，并且用于控制安装部件的高度的控制螺钉沿着从底部向顶部的方向按顺序地插入在形成于安装部件、PCB和加固部件中的控制孔内。由于接触部件的顶部表面向上突起，所以，即使在控制安装部件的高度时安装部件与接触部件倾斜，接触部件也会持续接触加固部件。

公开(公告)号：CN101069277B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200580041495.1

申请日：2005-12-19

Applicant: 飞而康公司

Inventor： 李瀚茂

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/06727 ,  G01R1/06738 ,  G01R1/07342 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供了一种探针卡的制造方法。形成第一钝化图案，以用于在牺牲衬底上实现电检查探针的尖端部分和平坦度检测探针的尖端部分，并且执行使用第一钝化图案作为蚀刻掩模的蚀刻工艺，以在牺牲衬底中形成第一沟槽。除去第一钝化图案，并且形成具有暴露出第一沟槽的条型第一开口的第二钝化图案。在该开口中设置导电材料，以形成分别连接到检查探针和检测探针的尖端部分的横梁部分，从而形成检查探针和检测探针。将检查探针和检测探针的横梁部分结合到多层电路板，除去牺牲衬底以暴露出检查探针和检测探针。

公开(公告)号：CN101461050A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200780020573.9

申请日：2007-05-16

Applicant: 飞而康公司

Inventor： 李瀚茂 ,  曹容辉

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/06744 ,  G01R1/06727 ,  G01R3/00

Abstract: 本发明公开一种制造悬臂式探针的方法。根据该方法，在基底的尖部和伪尖部区域中分别形成凹槽之后，通过填充尖部和伪尖部区域的凹槽形成尖部和伪尖部。形成覆盖包括伪尖部的伪尖部区域的消耗性层。形成与尖部连接并在包括消耗性层的伪尖部上延伸的梁部。所述方法包括选择性地蚀刻尖部的基底并使尖部浮在基底上的步骤。因此，可以最小化在制造探针卡时对尖部的物理和化学损伤，从而提供稳定性，并且尖部的缺陷更小。

公开(公告)号：CN101069277A

公开(公告)日：2007-11-07

申请号：CN200580041495.1

申请日：2005-12-19

Applicant: 飞而康公司

Inventor： 李瀚茂

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/06727 ,  G01R1/06738 ,  G01R1/07342 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供了一种探针卡的制造方法。形成第一钝化图案，以用于在牺牲衬底上实现电检查探针的尖端部分和平坦度检测探针的尖端部分，并且执行使用第一钝化图案作为蚀刻掩模的蚀刻工艺，以在牺牲衬底中形成第一沟槽。除去第一钝化图案，并且形成具有暴露出第一沟槽的条型第一开口的第二钝化图案。在该开口中设置导电材料，以形成分别连接到检查探针和检测探针的尖端部分的横梁部分，从而形成检查探针和检测探针。将检查探针和检测探针的横梁部分结合到多层电路板。除去牺牲衬底以暴露出检查探针和检测探针。