用于样本的偏振敏感光频域成像的方法、装置和系统
Abstract:
提供了用于获取与样本相关联的数据的装置和方法。例如,可以向样本提供至少一个第一电磁辐射并且可以向参考物(例如,无反射参考物)提供至少一个第二电磁辐射。这样的辐射的频率可以以第一特征周期随着时间反复地变化。另外,第一电磁辐射、第二电磁辐射、第三电磁辐射(与第一辐射相关联)或第四电磁辐射(与第二辐射相关联)的偏振状态以短于第一周期的第二特征周期随着时间反复地改变。可以根据偏振状态来提供用于对样本的至少一部分进行成像的数据。另外地或替选地,第三和第四电磁辐射可以被组合以确定样本的至少一部分的轴向反射轮廓。
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