- 专利标题: 一种选择性发射极太阳电池制造过程中的重扩散和轻扩散工艺
- 专利标题(英): Heavy diffusion and light diffusion technology for manufacturing selective emitter solar battery
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申请号: CN200910037425.9申请日: 2009-02-26
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公开(公告)号: CN101494253A公开(公告)日: 2009-07-29
- 发明人: 李静 , 周鹏宇
- 申请人: 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省扬州市扬州经济开发区建华路1号
- 专利权人: 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司
- 当前专利权人: 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司,上海晶澳太阳能科技有限公司,晶澳太阳能有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省扬州市扬州经济开发区建华路1号
- 代理机构: 广州知友专利商标代理有限公司
- 代理商 李海波
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种选择性发射极太阳电池制造过程中的重扩散和轻扩散工艺,重扩散工艺应用在电极栅线下及其附近,轻扩散工艺应用在非电极栅线区域,通过改变两步扩散工艺的温度,气流量和工艺时间使得在电极栅线下及其附近形成高掺杂深扩散区,在非电极栅线区域形成低掺杂浅扩散区。本发明解决了传统一步扩散工艺无法同时降低硅片表面接触电阻和减少死层的问题,对晶体硅太阳能电池整体性能的提高有着重要的作用。
公开/授权文献
- CN101494253B 一种选择性发射极太阳电池制造过程中的重扩散和轻扩散工艺 公开/授权日:2010-07-14
IPC分类: