一种选择性发射极太阳电池制造过程中的重扩散和轻扩散工艺
摘要:
本发明公开了一种选择性发射极太阳电池制造过程中的重扩散和轻扩散工艺,重扩散工艺应用在电极栅线下及其附近,轻扩散工艺应用在非电极栅线区域,通过改变两步扩散工艺的温度,气流量和工艺时间使得在电极栅线下及其附近形成高掺杂深扩散区,在非电极栅线区域形成低掺杂浅扩散区。本发明解决了传统一步扩散工艺无法同时降低硅片表面接触电阻和减少死层的问题,对晶体硅太阳能电池整体性能的提高有着重要的作用。
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