发明授权
CN101508457B 一种制备ZnO厚膜的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种制备ZnO厚膜的方法
- 专利标题(英): Method for preparing ZnO thick film
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申请号: CN200910061183.7申请日: 2009-03-20
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公开(公告)号: CN101508457B公开(公告)日: 2010-12-01
- 发明人: 张五星 , 黄云辉 , 薛丽红
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 李智
- 主分类号: C01G9/02
- IPC分类号: C01G9/02 ; G01N27/12
摘要:
本发明提供一种制备ZnO厚膜的方法,将片状碱式锌盐颗粒分散到水中形成前驱体料浆,采用微孔滤膜对前驱料浆进行过滤,使片状碱式锌盐颗粒在过滤的过程中自发组装成取向性碱式锌盐厚膜,再将微孔滤膜上的碱式锌盐厚膜转移到衬底上,最后对其加热分解得到ZnO厚膜。本发明以片状碱式锌盐为前驱体制备ZnO厚膜,制备的ZnO厚膜取向性好,厚度均匀,结构稳定。
公开/授权文献
- CN101508457A 一种制备ZnO厚膜的方法 公开/授权日:2009-08-19
IPC分类: