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一种制备ZnO厚膜的方法
摘要:
本发明提供一种制备ZnO厚膜的方法,将片状碱式锌盐颗粒分散到水中形成前驱体料浆,采用微孔滤膜对前驱料浆进行过滤,使片状碱式锌盐颗粒在过滤的过程中自发组装成取向性碱式锌盐厚膜,再将微孔滤膜上的碱式锌盐厚膜转移到衬底上,最后对其加热分解得到ZnO厚膜。本发明以片状碱式锌盐为前驱体制备ZnO厚膜,制备的ZnO厚膜取向性好,厚度均匀,结构稳定。
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