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CN101513990A 致动器 失效 - 权利终止

致动器
摘要:
本发明解决驱动电压偏移、电极的粘着等问题,由此,提供一种经时变化小、具有稳定的驱动特性的压电驱动方式的致动器。本发明提供一种致动器,具备:基板;设置在上述基板的主面上的固定电极;设置在上述固定电极上、由结晶体构成的第1电介质膜;与上述主面相对、在上述基板的上方空出间隙地被保持的可动梁;设置在上述可动梁的与上述固定电极相对的面上、在与上述固定电极之间被施加交流电压的可动电极;以及设置在上述可动电极的与上述固定电极相对的面上、由结晶体构成的第2电介质膜。
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