发明公开
CN101513990A 致动器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 致动器
- 专利标题(英): Actuator
-
申请号: CN200910004248.4申请日: 2009-02-18
-
公开(公告)号: CN101513990A公开(公告)日: 2009-08-26
- 发明人: 川久保隆 , 长野利彦 , 西垣亨彦
- 申请人: 株式会社东芝
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社东芝
- 当前专利权人: 株式会社东芝
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 陈海红; 周春燕
- 优先权: 035748/2008 2008.02.18 JP
- 主分类号: B81B7/02
- IPC分类号: B81B7/02 ; H03H9/13 ; H03H9/15 ; H03H9/54
摘要:
本发明解决驱动电压偏移、电极的粘着等问题,由此,提供一种经时变化小、具有稳定的驱动特性的压电驱动方式的致动器。本发明提供一种致动器,具备:基板;设置在上述基板的主面上的固定电极;设置在上述固定电极上、由结晶体构成的第1电介质膜;与上述主面相对、在上述基板的上方空出间隙地被保持的可动梁;设置在上述可动梁的与上述固定电极相对的面上、在与上述固定电极之间被施加交流电压的可动电极;以及设置在上述可动电极的与上述固定电极相对的面上、由结晶体构成的第2电介质膜。
公开/授权文献
- CN101513990B 致动器 公开/授权日:2012-06-27