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    致动器
    1.
    发明授权
    致动器 失效

    公开(公告)号：CN101513990B

    公开(公告)日：2012-06-27

    申请号：CN200910004248.4

    申请日：2009-02-18

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 川久保隆 ,  长野利彦 ,  西垣亨彦

    IPC分类号： H01L41/08 ,  B81B7/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/15 ,  H03H9/54

    CPC分类号： B81B3/0008 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/16 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094

    摘要： 本发明解决驱动电压偏移、电极的粘着等问题，由此，提供一种经时变化小、具有稳定的驱动特性的压电驱动方式的致动器。本发明提供一种致动器，具备：基板；设置在上述基板的主面上的固定电极；设置在上述固定电极上、由结晶体构成的第1电介质膜；与上述主面相对、在上述基板的上方空出间隙地被保持的可动梁；设置在上述可动梁的与上述固定电极相对的面上、在与上述固定电极之间被施加交流电压的可动电极；以及设置在上述可动电极的与上述固定电极相对的面上、由结晶体构成的第2电介质膜。

    致动器以及使用其的电子设备
    2.
    发明公开
    致动器以及使用其的电子设备 失效

    公开(公告)号：CN101488723A

    公开(公告)日：2009-07-22

    申请号：CN200910002664.0

    申请日：2009-01-14

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 西垣亨彦 ,  长野利彦 ,  板谷和彦 ,  川久保隆

    IPC分类号： H02N2/02

    CPC分类号： H01H57/00 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0973

    摘要： 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。

    MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端
    4.
    发明公开
    MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端 失效

    公开(公告)号：CN101276707A

    公开(公告)日：2008-10-01

    申请号：CN200810087276.2

    申请日：2008-03-26

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 川久保隆 ,  长野利彦 ,  西垣亨彦

    IPC分类号： H01H57/00 ,  H01H59/00 ,  H01G7/00 ,  H01L41/00 ,  B81B7/02

    CPC分类号： H01L41/094 ,  B81B3/001 ,  B81B2201/014 ,  H01G5/18 ,  H01H59/0009 ,  H01H2057/006 ,  H01H2059/0072

    摘要： 本发明提供一种MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端。具体地说，提供一种工作电压低、接触压力大且分离力大的MEMS器件成为可能。一种MEMS器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的支撑单元；设置在所述衬底上的固定电极；致动器，其包括第一电极、形成于所述第一电极上的第一压电膜以及形成于所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线上，并且设置在所述衬底上，以面对所述第一电极。

    致动器以及使用其的电子设备
    5.
    发明授权
    致动器以及使用其的电子设备 失效

    公开(公告)号：CN101488723B

    公开(公告)日：2012-07-18

    申请号：CN200910002664.0

    申请日：2009-01-14

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 西垣亨彦 ,  长野利彦 ,  板谷和彦 ,  川久保隆

    IPC分类号： H02N2/02

    CPC分类号： H01H57/00 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0973

    摘要： 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。

    压电驱动型MEMS装置及便携终端
    8.
    发明公开
    压电驱动型MEMS装置及便携终端 失效

    公开(公告)号：CN101373811A

    公开(公告)日：2009-02-25

    申请号：CN200810213322.9

    申请日：2008-08-22

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 川久保隆 ,  长野利彦 ,  西垣亨彦

    IPC分类号： H01L41/09 ,  H01G5/18 ,  H01H57/00

    CPC分类号： H01G5/16 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0946

    摘要： 本发明提供了压电驱动型MEMS装置及便携终端，其使尽量地增大作用部和固定电极的接触面积成为可能。具备：基板(1)；设置在基板上支持部(2)；设置在基板上的固定电极(11)；和执行器(3)，具有第1电极(4)、第1电极上形成的压电膜(5)和压电膜上形成的第2电极(6)，一端经过支持部固定在基板上，另一端配置为与固定电极相对并变为作用部(10)，作用部被贯穿第1电极、压电膜及第2电极的多个缝隙分割为多个电极部，各电极部的至少一部分与相邻电极部的一部分连接，各电极部可以个别地产生弯曲变形。

    致动器
    10.
    发明公开
    致动器 失效

    公开(公告)号：CN101513990A

    公开(公告)日：2009-08-26

    申请号：CN200910004248.4

    申请日：2009-02-18

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 川久保隆 ,  长野利彦 ,  西垣亨彦

    IPC分类号： B81B7/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/15 ,  H03H9/54

    CPC分类号： B81B3/0008 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/16 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094

    摘要： 本发明解决驱动电压偏移、电极的粘着等问题，由此，提供一种经时变化小、具有稳定的驱动特性的压电驱动方式的致动器。本发明提供一种致动器，具备：基板；设置在上述基板的主面上的固定电极；设置在上述固定电极上、由结晶体构成的第1电介质膜；与上述主面相对、在上述基板的上方空出间隙地被保持的可动梁；设置在上述可动梁的与上述固定电极相对的面上、在与上述固定电极之间被施加交流电压的可动电极；以及设置在上述可动电极的与上述固定电极相对的面上、由结晶体构成的第2电介质膜。