振荡器装置和共振频率检测方法
摘要:
一种振荡器装置、光学偏转装置、光学仪器、以及检测共振频率的方法,所述振荡器装置包括:振荡系统,包括振荡器和弹性支持部;驱动部,基于驱动信号向所述振荡系统供应驱动力;检测部,至少检测振荡器的振荡振幅;驱动振幅控制单元,至少控制驱动信号的驱动振幅;以及驱动频率控制单元,控制要被供应至驱动部的驱动信号的驱动频率;其中,在驱动振幅控制单元控制驱动信号的驱动振幅而使得要检测的振荡振幅等于目标值的状态下,并且基于包括被各驱动频率的驱动信号驱动的不同驱动状态下的这些驱动频率以及被控制的驱动振幅的信息,驱动频率控制单元获取使驱动信号的驱动振幅变为最小的驱动频率作为振荡系统的共振频率。
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