发明授权
CN101539505B 在低温下为半导体样品施加连续可调单轴应力的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 在低温下为半导体样品施加连续可调单轴应力的方法
- 专利标题(英): Method for applying continuously adjustable uniaxial stress to semiconductor samples at low temperature
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申请号: CN200810102203.6申请日: 2008-03-19
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公开(公告)号: CN101539505B公开(公告)日: 2010-12-08
- 发明人: 周振宇 , 陈涌海
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周国城
- 主分类号: G01N19/00
- IPC分类号: G01N19/00 ; G01N3/00
摘要:
本发明是一种在低温下为半导体样品施加连续可调单轴应力的方法。所述方法包括选取一压电陶瓷致动器,所述压电陶瓷致动器能够通过对改变压电陶瓷的偏压调节所施加的应力;将两个“U”形紫铜帽固定在所述压电陶瓷致动器两端,用于固定样品和导热;使用一紫铜导热丝连接在一所述紫铜帽上,用于实现均匀迅速导热;使用强力胶将半导体样品两端粘结在两个“U”形铜块上;改变压电陶瓷致动器上压电陶瓷的偏压,对所述半导体样品施加连续可调单轴应力。该方法中,单轴应力的大小连续双向可调,可测量,样品降温迅速准确,装置所占体积小,操作简便,可以与低温装置完美结合。
公开/授权文献
- CN101539505A 在低温下为半导体样品施加连续可调单轴应力的方法 公开/授权日:2009-09-23