半导体装置、电光装置及电子设备
摘要:
本发明提供了半导体装置、电光装置及电子设备,即使在树脂层等的柔性层上形成时可靠性也优异。本发明的在树脂层(S)上形成的半导体装置,包含多个底栅型薄膜晶体管,该半导体装置至少具有构成该底栅型薄膜晶体管的半导体层(17)、第一布线(GL1,GL2)、第二布线(SL)、第一绝缘层(15)以及栅极绝缘膜(19),在该半导体层和该第一布线和第二布线的下部,存在该第一绝缘层和该栅极绝缘膜,在未形成该半导体层和该第一布线和第二布线的处所,该第一绝缘层和该栅极绝缘膜的一部分被去除。由于该第一绝缘层和该栅极绝缘膜的一部分被去除,因此,即使在半导体装置施加了机械或热应力的情况下,也使该应力缓和,可以降低第一绝缘层等中裂纹的发生。
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