发明授权
- 专利标题: 压电材料及压电元件
- 专利标题(英): Piezoelectric material and piezoelectric element
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申请号: CN200910129911.3申请日: 2009-04-01
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公开(公告)号: CN101552317B公开(公告)日: 2012-05-30
- 发明人: 滨田泰彰 , 木岛健
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 李贵亮
- 优先权: 2008-095054 2008.04.01 JP
- 主分类号: H01L41/083
- IPC分类号: H01L41/083 ; H01L41/18 ; B41J2/135
摘要:
本发明提供一种特性良好的非铅系压电材料。尤其是能够提高以Bi(Fe、Mn)O3及Ba(Zr、Ti)O3为基础的压电材料的特性。本发明的压电元件的特征在于,具有:第一电极(6)、配置于所述第一电极上的压电体膜(9)、配置于所述压电体膜上的第二电极(11),其中,构成所述压电体膜的压电材料为由Bi(Fe、Mn)O3和Ba(Zr、Ti)O3的混合晶构成的压电材料,并由组成式(1-x)Bi(Fei-yMny)O3-xBa(ZruTi1-u)O3表示,且0<x<0.40、0.01<y<0.1及0≤u<0.16。根据这样的构成,能够维持Bi(Fe1-yMny)O3的自发极化量及高居里温度,通过Ba(ZruTi1-u)O3能够实现压电特性的提高。
公开/授权文献
- CN101552317A 压电材料及压电元件 公开/授权日:2009-10-07
IPC分类: