压电材料及压电元件
摘要:
本发明提供一种特性良好的非铅系压电材料。尤其是能够提高以Bi(Fe、Mn)O3及Ba(Zr、Ti)O3为基础的压电材料的特性。本发明的压电元件的特征在于,具有:第一电极(6)、配置于所述第一电极上的压电体膜(9)、配置于所述压电体膜上的第二电极(11),其中,构成所述压电体膜的压电材料为由Bi(Fe、Mn)O3和Ba(Zr、Ti)O3的混合晶构成的压电材料,并由组成式(1-x)Bi(Fei-yMny)O3-xBa(ZruTi1-u)O3表示,且0<x<0.40、0.01<y<0.1及0≤u<0.16。根据这样的构成,能够维持Bi(Fe1-yMny)O3的自发极化量及高居里温度,通过Ba(ZruTi1-u)O3能够实现压电特性的提高。
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