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公开(公告)号：CN115298842A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202180022200.5
申请日：2021-03-24
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： H01L41/18 , H04R17/00 , H01L41/08 , H01L41/083 , B06B1/06 , H01L41/09 , H01L41/253 , H01L41/257
摘要： 一种层叠压电元件，其以折叠的方式层叠压电薄膜而成，该压电薄膜在矩阵中分散了压电体粒子的压电体层的两面具有电极层及保护层，在被层叠的2层的压电薄膜中，将中央部的厚度设为中央厚度、将从折叠侧的端部朝向中央至中央厚度的2倍为止的位置设为折叠部时，折叠部具有比中央厚度厚的位置，折叠部具有空隙，或者被粘贴剂填满。关于该层叠压电元件，在将压电薄膜进行折叠而层叠的层叠压电元件中，能够防止折叠部处的电极层的剥离等。电声换能器为使用该层叠压电元件的电声换能器。
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公开(公告)号：CN113707802B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202110995752.6
申请日：2021-08-27
申请人： 成都汇通西电电子有限公司
IPC分类号： H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/314 , H01L41/39
摘要： 本发明公开了一种矩阵致动器结构，包括：陶瓷基块，阵列设置在陶瓷基块上的若干压电巴块，压电巴块与陶瓷基块一体成型，压电巴块内设有错位印刷的内电极层，相邻的内电极层通过陶瓷层分隔；每个压电巴块中含有俩个导电通孔，分别连通压电巴块中的奇数电极层与偶数电极层，且导电通孔由上至下贯穿压电巴块与陶瓷基块，并且这俩个导电通孔分别为该压电巴块单元的正负电极。该矩阵致动器的制备工艺包括：流延工艺、印叠工艺、等静压工艺、切割工艺、排胶烧结、等步骤。利用该工艺制备的矩阵致动器，产品一致性好，工艺简单。
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公开(公告)号：CN111448446B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN201880060153.1
申请日：2018-07-19
申请人： 触控解决方案股份有限公司
IPC分类号： G01L1/16 , G01L1/18 , H01L41/053 , H01L41/083
摘要： 本文描述了一种加固型微机电(“MEMS”)力传感器，其包括传感器管芯和应变传递层。MEMS力传感器采用压阻或压电应变计用于应变感测，其中应变通过应变传递层传递，所述应变传递层设置在所述传感器管芯的顶侧或底侧上。在顶侧应变传递层的情况下，MEMS力传感器包括机械锚。在底侧应变传递层的情况下，保护层添加在传感器管芯的顶侧上以用于结合线保护。
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公开(公告)号：CN113582689B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202110994661.0
申请日：2021-08-27
申请人： 成都汇通西电电子有限公司
IPC分类号： C04B35/493 , C04B35/622 , C04B35/64 , C04B41/88 , H01L41/083 , H01L41/09
摘要： 本发明公开了一种用于叠层致动器低温共烧压电陶瓷材料及其制备方法，其化学通式为aPb(Mg1/3Nb2/3)‑bPb(Sb1/2Nb1/2)‑cPb(Zn1/3Nb2/3)‑dPb(Zr0.52Ti0.48)+x％LiF+y％MuOv+z％SrCO3，其中0.03≤a≤0.06；0.01≤b≤0.03；0.005≤c≤0.03；0.80≤d≤0.95，0 250℃)及适中的介电常数(εr＝2000～4000)，可以满足叠层压电致动器共烧工艺对陶瓷材料的应用要求。
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公开(公告)号：CN110265543B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN201910521336.5
申请日：2019-06-17
申请人： 中北大学
IPC分类号： H01L41/083 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/277 , H01L41/293 , G01L1/14 , G01L9/12
摘要： 本发明公开了一种差动电容式陶瓷耐高温压敏芯片及其高温压力传感器，该压敏芯片由生瓷片与Pt浆料通过高温烧结而成，包括经叠片技术层压成一个整体的第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片、第七生瓷片、第八生瓷片；第一生瓷片的下表面丝印一电容上极板Pt浆料层，第二生瓷片上开设有与电容上极板Pt浆料层相配合的第一空腔；第三生瓷片的下表面丝印一电容中间板Pt浆料层，第五生瓷片的下表面丝印一电容下极板Pt浆料层。本发明可实现高温环境下压力参数的动态精准测量，且后端电路无需进行温度补偿、灵敏度高、可靠性高、动态响应快、稳定性好。
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公开(公告)号：CN114736018A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202111588893.2
申请日：2021-12-23
申请人： 乐金显示有限公司 , 高丽大学校产学协力团
IPC分类号： C04B35/495 , G09F9/30 , H01L41/083 , H01L41/18 , H01L41/187
摘要： 本发明涉及压电材料组合物、其制造方法、压电器件和显示装置。公开了如化学式1所示的包含压电材料的组合物：(1‑y)(NaaK1‑a)(Nb1‑x,Sbx)‑ySrZrO3+n mol％CuO，其中，0.01≤y≤0.10，0.4≤a≤0.6，0≤x≤0.06，并且0.5≤n≤1.5。所述组合物可以进一步包含：第一材料，和由第一材料包围的第二材料。还记载了一种压电器件，其包括压电器件层、设置在压电器件层的第一表面上的第一电极部和设置在与第一表面相对的第二表面上的第二电极部，该压电器件层包含化学式1的组合物，并且包括第一材料层和由第一材料层包围的第二材料层。
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公开(公告)号：CN114651339A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202080077753.6
申请日：2020-10-29
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： H01L41/047 , H04R17/00 , H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/18
摘要： 本发明的课题在于提供一种在层叠有压电薄膜的层叠压电元件中能够简单地进行各压电薄膜的电极层和外部装置的连接的层叠压电元件。本发明通过如下来解决课题：压电薄膜具有压电体层及层叠有电极层及保护层的层叠片，且在使电极层相面对的层叠片之间配置了压电体层，层叠片具有从压电体层突出的突出部，在突出部上设置贴附于电极层和保护层的表面的引出配线，使引出配线接触，由此连接各压电薄膜的相同极性的电极层。
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公开(公告)号：CN114636449A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202111537051.4
申请日：2021-12-15
申请人： 霍尼韦尔国际公司
IPC分类号： G01F1/66 , G01F1/667 , H01L41/083 , H01L41/113 , H01L41/187
摘要： 本发明公开了一种换能器传感器装置，其可包括传感器，并且多层换能器可包括多个压电元件。该传感器可包括该多层换能器，并且该多层换能器可在由该传感器进行的感测操作期间通过克服外部噪声源来改进信噪比。
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公开(公告)号：CN114583043A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210150504.6
申请日：2022-02-18
申请人： 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC分类号： H01L41/083 , H01L41/312 , G02B26/08
摘要： 本发明公开了压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法，所述压电驱动结构包括压电层、压电层上方连续的上电极和压电层下方连续的下电极，所述上电极上方一端设置有上介质层，所述下电极下方设置有下介质层，所述上介质层和所述下介质层长度小于所述压电层，在所述压电层所处的水平面上所述上介质层和所述下介质层在水平方向不完全重合。本发明针对无侧向位移和转角的压电Bimorph驱动结构存在的驱动电路复杂，引线繁琐、驱动效率低等问题，提出新的简化结构和制备方案，该方案中Bimorph驱动结构无需设置专门的引线。
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公开(公告)号：CN114583041A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202011372354.0
申请日：2020-11-30
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09
摘要： 本发明涉及一种薄膜压电致动器。薄膜压电致动器具备：基板；下部电极，其层叠于基板；层叠结构体，其层叠于下部电极，且包含以将中间电极夹于其间的方式交替地层叠的多个薄膜压电膜；上部电极，其层叠于层叠结构体；第一保护层，其设置于上部电极的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成；及第二保护层，其至少设置于中间电极中的未被夹于薄膜压电膜之间的端部的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成。根据本发明，提供了一种能够谋求高性能化并且能够有效地抑制在下层的压电膜的端部产生裂纹的薄膜压电致动器。
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