相变存储器加热电极的制备方法
摘要:
本发明涉及一种相变存储器加热电极的制备方法,首先利用CVD技术在衬底上依次沉积SiO2/Si3N4/SiO2介质层,接着使用亚微米CMOS标准工艺曝光技术在顶层SiO2上制备出直径为150~300nm的孔洞。之后,沉积Si3N4100~200nm并刻蚀,连同一开始沉积的Si3N4刻穿,在孔洞中形成出50~150nm厚的Si3N4侧墙。最后,将Si3N4侧墙作为硬掩膜把底层SiO2刻蚀完,利用CVD技术填入W、TiN等电极材料,并进行化学机械抛光停在底层SiO2上,形成直径100nm以下的柱状加热电极。本发明不仅避免了直接使用100nm以下曝光技术的困难,降低了制造成本,更重要的是降低了相变存储器的操作电流和功耗。
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