发明授权
- 专利标题: 相变存储器加热电极的制备方法
- 专利标题(英): Method for preparing phase transition storage
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申请号: CN200910052407.8申请日: 2009-06-02
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公开(公告)号: CN101567420B公开(公告)日: 2010-12-29
- 发明人: 冯高明 , 宋志棠 , 刘波 , 封松林 , 万旭东 , 吴关平
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: H01L45/00
- IPC分类号: H01L45/00
摘要:
本发明涉及一种相变存储器加热电极的制备方法,首先利用CVD技术在衬底上依次沉积SiO2/Si3N4/SiO2介质层,接着使用亚微米CMOS标准工艺曝光技术在顶层SiO2上制备出直径为150~300nm的孔洞。之后,沉积Si3N4100~200nm并刻蚀,连同一开始沉积的Si3N4刻穿,在孔洞中形成出50~150nm厚的Si3N4侧墙。最后,将Si3N4侧墙作为硬掩膜把底层SiO2刻蚀完,利用CVD技术填入W、TiN等电极材料,并进行化学机械抛光停在底层SiO2上,形成直径100nm以下的柱状加热电极。本发明不仅避免了直接使用100nm以下曝光技术的困难,降低了制造成本,更重要的是降低了相变存储器的操作电流和功耗。
公开/授权文献
- CN101567420A 相变存储器加热电极的制备方法 公开/授权日:2009-10-28
IPC分类: