本发明涉及光伏电池制造领域，具体涉及一种制备具有掺镓氧化锌绒面的衬底的方法、通过该方法制备的衬底以及包括该衬底的硅薄膜太阳电池。通过本发明提供的制备衬底的方法，可以获得具有掺镓氧化锌绒面的衬底，使硅薄膜太阳电池制造商摆脱绒面氧化锡玻璃供应商的限制，而进一步降低生产制造成本。可以将本发明提供的制备衬底的方法直接应用到硅薄膜太阳电池的生产制造中，并且通过该方法制备的衬底能够取代现有的昂贵的绒面氧化锡玻璃衬底，并表现出更加优异的性能。