对象物的物理量测定方法及控制方法
摘要:
本发明涉及一种光传感技术,其用于利用布里渊散射现象,对存在于微细构造物上或微细构造物中的对象物的物理量进行测定及控制。在该测定方法中,在微型化学芯片或IC芯片等元件上或元件中一维至三维地设置光波导路,基于该光波导路中产生的布里渊散射光的特性变化,测定对象物的物理量。
0/0