Invention Grant
CN101592582B 一种适用于轻敲模式原子力显微镜针尖与样品间距的检测装置
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种适用于轻敲模式原子力显微镜针尖与样品间距的检测装置
- Patent Title (English): Device for detecting distance between needlepoint of tapping-mode atomic force microscopy and sample
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Application No.: CN200910087765.2Application Date: 2009-06-26
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Publication No.: CN101592582BPublication Date: 2011-04-06
- Inventor: 钱建强 , 华宝成 , 李渊 , 李英姿 , 杨勇
- Applicant: 北京航空航天大学
- Applicant Address: 北京市海淀区学院路37号
- Assignee: 北京航空航天大学
- Current Assignee: 北京航空航天大学
- Current Assignee Address: 北京市海淀区学院路37号
- Agency: 北京永创新实专利事务所
- Agent 周长琪
- Main IPC: G01N13/16
- IPC: G01N13/16 ; G01B7/14
Abstract:
本发明公开了一种适用于轻敲模式原子力显微镜针尖与样品间距的检测装置,该检测装置是在现有原子力显微镜的PID控制器上分别连接有DDS信号发生电路和锁相放大电路,以及对探测器进行改进,本发明中的探测器由双臂石英音叉和探针组成。在信息检测方面本发明采用激励电压信号作为驱动音叉振动的方式,然后通过检测流经音叉的电流来确定针尖与样品之间的距离。本发明提出的距离检测采用锁相放大的处理手段,在得到样品形貌图像的同时可以得到相位图像。本发明设计的探测器的结构更加简单、体积小、可靠性高。
Public/Granted literature
- CN101592582A 一种适用于轻敲模式原子力显微镜针尖与样品间距的检测装置 Public/Granted day:2009-12-02
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